[实用新型]覆铜板的蚀刻设备及覆铜板的蚀刻系统

权利要求书

1.一种覆铜板的蚀刻设备，其特征在于，包括：

图形蚀刻框，包括内框与外框，所述外框套设于所述内框外，且所述外框与所述内框之间存在间隙，所述外框与所述内框用于承载待蚀刻覆铜板的一端为所述图形蚀刻框的承载端，所述间隙为所述图形蚀刻框的蚀刻区；

喷淋件，包括喷淋器，所述喷淋器的喷头设于所述蚀刻区内；及

固定件，包括抽真空装置及与所述抽真空装置连接的气管，所述气管的数目为多条，若干条气管远离所述抽真空装置的一端穿设于所述内框上，若干条气管远离所述抽真空装置的一端穿设于所述外框上，所述多条气管用于除去待蚀刻覆铜板与所述承载端接触处的气体。

2.根据权利要求1所述的覆铜板的蚀刻设备，其特征在于，所述内框的形状与所述外框的形状相同，且所述内框与所述外框同心叠放。

3.根据权利要求1所述的覆铜板的蚀刻设备，其特征在于，所述内框上开设有贯穿其相对的两个端面的安装孔，所述安装孔的数目为若干个，每一气管通过一安装孔穿设于所述内框上。

4.根据权利要求1所述的覆铜板的蚀刻设备，其特征在于，所述外框与所述内框之间的间距大于20mm。

5.根据权利要求4所述的覆铜板的蚀刻设备，其特征在于，所述喷头的直径为10mm～20mm。

6.根据权利要求1所述的覆铜板的蚀刻设备，其特征在于，所述喷淋件还包括蚀刻液存储槽、清洗液存储槽及液体回收槽，所述蚀刻液存储槽用于存储蚀刻液，以为所述喷淋器提供蚀刻液，所述清洗液存储槽用于存储清洗液，以为所述喷淋器提供清洗液，所述液体回收槽设于所述图形蚀刻框远离所述承载端的一端处，所述液体回收槽通过导流管分别与所述刻液存储槽及所述清洗液存储槽连通。

7.一种覆铜板的蚀刻系统，其特征在于，包括按顺时针方向或逆时针方向间隔排列的待蚀刻覆铜板存放架、如权利要求1-6中任一项所述的覆铜板的蚀刻设备、烘干设备及产品回收架，以及传动设备，所述待蚀刻覆铜板存放架、所述覆铜板的蚀刻设备、所述烘干设备及所述产品回收架围合形成传动区；

所述传动设备包括传动杆、吸附板及驱动控制装置，所述传动杆位于所述传动区内，所述吸附板设于所述传动杆上，用于吸附待蚀刻覆铜板，所述驱动控制装置与所述传动杆连接，用于控制所述传动杆间隔运动以使所述吸附板依次运动至所述待蚀刻覆铜板存放架、所述覆铜板的蚀刻设备、所述烘干设备及所述产品回收架。

8.根据权利要求7所述的覆铜板的蚀刻系统，其特征在于，所述待蚀刻覆铜板存放架与所述烘干设备正对设置，所述覆铜板的蚀刻设备与所述产品回收架正对设置；

所述传动杆的数目为两根，所述两根传动杆成夹角设置，所述吸附板的数目为四块，所述四块吸附板分别设于所述两根传动杆的四个端部，所述驱动控制装置控制每一吸附板依次运动至所述待蚀刻覆铜板存放架、所述覆铜板的蚀刻设备、所述烘干设备及所述产品回收架，且所述待蚀刻覆铜板存放架、所述覆铜板的蚀刻设备、所述烘干设备及所述产品回收架处同时具有吸附板。

9.根据权利要求8所述的覆铜板的蚀刻系统，其特征在于，每一传动杆在水平面上呈圆形轨迹运动或者在垂直面上呈椭圆形轨迹运动。

10.根据权利要求7所述的覆铜板的蚀刻系统，其特征在于，所述吸附板上设有多个间隔排布的真空吸盘；

或者，所述烘干设备为带有热源的风刀。