[实用新型]一种磁控溅射镀膜生产线的滑阀泵装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及磁控溅射镀膜生产线设备，具体涉及一种磁控溅射镀膜生产线的滑阀泵装置。

背景技术

磁控溅射镀膜生产线设备为生产玻璃的重要设备。滑阀泵装置是磁控溅射镀膜生产线设备可的重要组成部分。目前的滑阀泵装置具有以下技术缺陷：1、滑阀泵中的泵油挥发量较大，导致泵油的利用率低，使生产成本较高；2、滑阀泵中的泵油直接挥发在厂房中，导致工作互环境差，影响操作人员的身体健康。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了克服以上现有技术存在的不足，提供了一种结构简单、合理，提高泵油的利用率，降低生产成本的磁控溅射镀膜生产线的滑阀泵装置。

本实用新型的目的通过以下的技术方案实现：本磁控溅射镀膜生产线的滑阀泵装置，包括进气管、挡油管、滤芯、封盖、螺杆、回油管和出气管，所述进气管的一端与滑阀泵连接，所述挡油管的下端设有与进气管另一端连接的进气口，所述挡油管的上端侧壁设有与出气管连接的出气口，所述滤芯通过螺杆安装于挡油管内，且所述滤芯与进气口密封连接；所述挡油管的下端设有与挡油管内腔连通的回油孔，所述回油孔通过回油管与滑阀泵连接，所述挡油管的上端面设有开口，所述开口与封盖密封连接。

优选的，所述回油孔位于滤芯的外侧。回油孔与进气口分别位于滤芯的内、外两侧，从而避免两者互相影响。

优选的，所述的磁控溅射镀膜生产线的滑阀泵装置还包括安全阀和压力表，所述安全阀安装于滑阀泵，所述压力表安装于进气管。因工作过程中，滤芯在进行过滤时，滤芯的滤孔因被堵塞而影响抽气效率，与此同时，会导致滑阀泵内压力会增加。故在工作过程中，安全阀设定安全的压力大小，当压力表显示到一定的排气压力时，从而提示更换滤芯，保证良好的抽气效率。

优选的，所述挡油管呈圆筒形，所述挡油管的内径为200mm～250mm，所述挡油管的高度为300mm～400mm。挡油管的尺寸大小根据滑阀泵的功率等条件而决定。

优选的，所述回油管采用柔性管体制成。回油管使用柔性管性，如塑料管，这方便回油管的安装连接。

优选的，所述挡油管的上端设有法兰部，所述法兰部设有第一固定孔，所述封盖设有与第一固定孔对应的第二固定孔。采用此设计方便封盖的拆装，从而可以方便更换滤芯，方便整个装置的维护。

优选的，所述封盖的上面设有把手。在封盖上设置把手，这方便工作操作。

本实用新型相对于现有技术具有如下的优点：本磁控溅射镀膜生产线的滑阀泵装置通过在滑阀泵的排气口设置挡油管、滤芯等部件，使自滑阀泵挥发出的泵油重新回到滑阀泵内，从而提高了泵油的利用率；本磁控溅射镀膜生产线的滑阀泵装置避免泵油挥发到厂房内，减少了厂房的环境污染程度，保证了工作人员的身体健康；本磁控溅射镀膜生产线的滑阀泵装置的结构简单、方便安装及维护。

附图说明

图1是本实用新型的磁控溅射镀膜生产线的滑阀泵装置的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步说明。

如图1所示的磁控溅射镀膜生产线的滑阀泵装置，包括进气管1、挡油管2、滤芯3、封盖4、螺杆5、回油管6和出气管7，所述进气管1的一端与滑阀泵8连接，所述挡油管2的下端设有与进气管1另一端连接的进气口21，所述挡油管2的上端侧壁设有与出气管7连接的出气口22，所述滤芯3通过螺杆5安装于挡油管2内，且所述滤芯3与进气口21密封连接；所述挡油管2的下端设有与挡油管2内腔连通的回油孔23，所述回油孔23通过回油管6与滑阀泵8连接，所述挡油管2的上端面设有开口24，所述开口24与封盖4密封连接。所述挡油管2呈圆筒形，所述挡油管2的内径为220mm，所述挡油管2的高度为350mm。在实际工作中，选取合适的滤芯3，从而保证抽气效率。同时，根据压力表10的显示压力，及时更换滤芯，保证抽气效率。

所述回油孔23位于滤芯3的外侧。回油孔23与进气口21分别位于滤芯的内、外两侧，从而避免两者互相影响。

所述的磁控溅射镀膜生产线的滑阀泵装置还包括安全阀9和压力表10，所述安全阀9安装于滑阀泵8，所述压力表10安装于进气管1。因工作过程中，滤芯3在进行过滤时，滤芯3的滤孔因被堵塞而影响抽气效率，与此同时，会导致滑阀泵8内压力会增加。故在工作过程中，安全阀9设定安全的压力大小，当压力表显示到一定的排气压力时，从而提示更换滤芯3，保证良好的抽气效率。

所述回油管6采用柔性管体制成。回油管6使用柔性管性，如塑料管，这方便回油管6的安装连接。在实际工作中，回油管6的两端采用快接气嘴11分布与滑阀泵8和回油孔23连接。