[实用新型]一种磁控溅射镀膜生产线的滑阀泵装置

权利要求书

1.一种磁控溅射镀膜生产线的滑阀泵装置，其特征在于：包括进气管、挡油管、滤芯、封盖、螺杆、回油管和出气管，所述进气管的一端与滑阀泵连接，所述挡油管的下端设有与进气管另一端连接的进气口，所述挡油管的上端侧壁设有与出气管连接的出气口，所述滤芯通过螺杆安装于挡油管内，且所述滤芯与进气口密封连接；所述挡油管的下端设有与挡油管内腔连通的回油孔，所述回油孔通过回油管与滑阀泵连接，所述挡油管的上端面设有开口，所述开口与封盖密封连接。

2.根据权利要求1所述的磁控溅射镀膜生产线的滑阀泵装置，其特征在于：所述回油孔位于滤芯的外侧。

3.根据权利要求1所述的磁控溅射镀膜生产线的滑阀泵装置，其特征在于：还包括安全阀和压力表，所述安全阀安装于滑阀泵，所述压力表安装于进气管。

4.根据权利要求1所述的磁控溅射镀膜生产线的滑阀泵装置，其特征在于：所述挡油管呈圆筒形，所述挡油管的内径为200mm～250mm，所述挡油管的高度为300mm～400mm。

5.根据权利要求1所述的磁控溅射镀膜生产线的滑阀泵装置，其特征在于：所述回油管采用柔性管体制成。

6.根据权利要求1所述的磁控溅射镀膜生产线的滑阀泵装置，其特征在于：所述挡油管的上端设有法兰部，所述法兰部设有第一固定孔，所述封盖设有与第一固定孔对应的第二固定孔。

7.根据权利要求1所述的磁控溅射镀膜生产线的滑阀泵装置，其特征在于：所述封盖的上面设有把手。