[实用新型]晶片盒放置架有效
| 申请号： | 201420611206.3 | 申请日： | 2014-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN204155914U | 公开（公告）日： | 2015-02-11 |
| 发明（设计）人： | 张韬 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673;H01L21/66 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 晶片 放置 | ||
1.一种晶片盒放置架，其特征在于，所述晶片盒放置架具有编号，其包括固定支架以及位于所述固定支架上水平放置的多层支撑板，每层所述支撑板上均设置有多组用于放置晶片盒的晶片盒固定槽，所述每组晶片盒固定槽上安装有传感器与译码器，所述传感器与译码器通过数据线与一设备自动化系统连接。
2.如权利要求1所述的晶片盒放置架，其特征在于，所述每组晶片盒固定槽具有唯一的地址以及独立的编号。
3.如权利要求2所述的晶片盒放置架，其特征在于，根据所述晶片盒放置架所处的不同位置进行编号，所述晶片盒放置架的编号与所述晶片盒固定槽在所述晶片盒放置架上的具体位置一起构成所述晶片盒固定槽的编号。
4.如权利要求3所述的晶片盒放置架，其特征在于，所述译码器位于所述晶片盒固定槽的边缘。
5.如权利要求1所述的晶片盒放置架，其特征在于，所述每组晶片盒固定槽上还安装有防止晶片盒晃动的定位销。
6.如权利要求5所述的晶片盒放置架，其特征在于，所述定位销为突起的柱状物。
7.如权利要求6所述的晶片盒放置架，其特征在于，所述定位销的数量为三个，分别位于所述晶片盒固定槽相对的两侧，并紧贴放置于所述晶片盒固定槽上的晶片盒。
8.如权利要求1所述的晶片盒放置架，其特征在于，所述传感器位于所述晶片盒固定槽对应所述晶片盒底部的位置。
9.如权利要求1～8任意一项所述的晶片盒放置架，其特征在于，所述固定支架的底部设置有滚轮。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
