[实用新型]一种湿法刻蚀装置

权利要求书

1.一种湿法刻蚀装置，其特征在于，所述装置至少包括：

腐蚀槽以及至少两个过滤器；所述腐蚀槽与每个过滤器通过第一、第二管道连接；

所述第一、第二管道上分别对应设有第一、第二阀门；

所述第一阀门与所述过滤器之间设有与所述第一管道相通的进液管；所述第二阀门与所述过滤器之间设有与所述第二管道相通的出液管。

2.根据权利要求1所述的湿法刻蚀装置，其特征在于：所述腐蚀槽为长方体槽；该腐蚀槽的底部还设置有分别紧密排列的若干进液口和若干排液口。

3.根据权利要求2所述的湿法刻蚀装置，其特征在于：所述清洗装置包括两个所述过滤器：第一、第二过滤器；所述第一、第二过滤器分别位于所述腐蚀槽的两侧。

4.根据权利要求3所述的湿法刻蚀装置，其特征在于：与所述第一过滤器连接的第一、第二管道连接于所述腐蚀槽的一侧；与所述第二过滤器连接的第一、第二管道连接于所述腐蚀槽的另一侧。

5.根据权利要求2所述的湿法刻蚀装置，其特征在于：所述腐蚀槽为长方体槽；所述清洗装置中包括四个过滤器：第一至第四过滤器；所述第一、第二过滤器位于所述腐蚀槽的一侧；所述第三、第四过滤器位于所述腐蚀槽的另一侧。

6.根据权利要求5所述的湿法刻蚀装置，其特征在于：分别与所述第一、第二过滤器连接的第一、第二管道连接于所述腐蚀槽的一侧；分别与所述第三、第四过滤器连接的第一、第二管道连接于所述腐蚀槽的另一侧。

7.根据权利要求4或6所述的湿法刻蚀装置，其特征在于：所述进液管连接有进水泵；所述出液管连接有抽水泵。

8.根据权利要求1所述的湿法刻蚀装置，其特征在于：所述腐蚀槽中承载有若干晶圆和磷酸溶液。