[实用新型]一种自动石墨舟有效
| 申请号: | 201420580027.8 | 申请日: | 2014-10-09 |
| 公开(公告)号: | CN204257607U | 公开(公告)日: | 2015-04-08 |
| 发明(设计)人: | 冯晓倩;郑方渊;张华 | 申请(专利权)人: | 上海弘竣实业有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 201708 上海市青浦区*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 自动 石墨 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种太阳能电池片加工设备,具体是一种自动石墨舟。
背景技术
随着太阳能电池片的需求不断增长,各电池片生产商都想在不增加设备、动力和气体的情况下提高产品质量,同时也降低成本。石墨舟是晶硅电池片生产线中必不可少的设备,石墨舟通常由石墨舟片、石墨块等零部件组合形成。目前市场上作业员在插、取硅片时有产生碎片现象,影响了硅片镀膜生产效率,且生产晶硅电池片的有自动线和手动线的区分,自动线成本高,但效率也高,但自动线因是机器插片,所以对石墨舟精度要求也高。
发明内容
本实用新型的目的在于提供一种结构简单紧凑,适应性好,且安全可靠的自动石墨舟。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:
一种自动石墨舟,包括石墨舟片、石墨棒、石墨螺母、石墨块和陶瓷管;所述石墨舟由若干个依次交错分布的石墨舟片组成,石墨舟片间通过石墨棒及石墨螺母串接后紧固连接,每个石墨舟片上均设有石墨棒安装孔;所述每个石墨舟片之间均通过陶瓷管相隔离,所述陶瓷管套在石墨棒上;每个石墨舟片间端部的石墨棒上均套有石墨块。
作为本实用新型进一步的方案:所述石墨舟片包括舟片体;所述舟片体一侧的两端设置对称分布的固定片,固定片从舟片体的端部向外延伸;所述固定片上设置第一固定片安装孔及第二固定片安装孔,所述第一固定片安装孔及第二固定片安装孔与舟片体上相应的石墨棒安装孔的孔径相一致,与石墨棒对应间隙配合,石墨棒穿过相应的第一固定片安装孔和第二固定片安装孔,将相应的石墨舟片串接在一起。
作为本实用新型进一步的方案:所述石墨舟片表面均安装若干硅片;硅片的外圈设置第一固定工艺点、第二固定工艺点及第三固定工艺点;所述硅片通过第一固定工艺点、第二固定工艺点及第三固定工艺点安装固定于相应的石墨舟片上。
作为本实用新型进一步的方案:所述石墨舟片上对应于设置固定片另一侧的石墨棒安装孔偏移,以避免安装硅片时产生的碰撞,方便石墨棒安装孔均匀分布于舟片体上。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:本实用新型石墨舟片依次交错分布,通过石墨棒与对应的石墨舟片间隙配合,陶瓷管与石墨棒的间隙配合,并通过调整陶瓷管的尺寸及陶瓷管与石墨棒安装孔的对应配合,能够增加石墨舟片插取的空间,降低插取过程中的碎片率,结构简单紧凑,安装使用方便,降低硅片的破碎率,提高了硅片镀膜的效率,适应性好,安全可靠;且石墨舟产品尺寸精确到一丝,能够完全与自动机械手匹配,大大提高插片正确率,降低生产成本;采用了消除“彩片”的生产技术,长期工艺生产中不产生“彩片”;采用德国西格里进口高纯石墨材料制作,杂质含量低,强度高。
附图说明
图1为本实用新型的整体结构示意图;
图2为单个石墨舟片的结构示意图;
图中:1-石墨螺母、2-石墨棒、3-第一固定工艺点、4-第二固定工艺点、5-第三固定工艺点、6-石墨舟片、7-石墨块、8-陶瓷管、9-石墨棒安装孔、10-固定片、11-第一固定片安装孔、12-第二固定片安装孔、13-硅片、14-舟片体。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





