[实用新型]一种自动石墨舟有效

专利信息
申请号: 201420580027.8 申请日: 2014-10-09
公开(公告)号: CN204257607U 公开(公告)日: 2015-04-08
发明(设计)人: 冯晓倩;郑方渊;张华 申请(专利权)人: 上海弘竣实业有限公司
主分类号: H01L21/673 分类号: H01L21/673
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 201708 上海市青浦区*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 自动 石墨
【权利要求书】:

1.一种自动石墨舟,包括石墨舟片(6)、石墨棒(2)、石墨螺母(1)、石墨块(7)和陶瓷管(8);其特征在于,所述石墨舟由若干个依次交错分布的石墨舟片(6)组成,石墨舟片(6)间通过石墨棒(2)及石墨螺母(1)串接后紧固连接,每个石墨舟片(6)上均设有石墨棒安装孔(9);所述每个石墨舟片(6)之间均通过陶瓷管(8)相隔离,所述陶瓷管(8)套在石墨棒(2)上;每个石墨舟片(6)间端部的石墨棒(2)上均套有石墨块(7)。

2.根据权利要求1所述的自动石墨舟,其特征在于,所述石墨舟片(6)包括舟片体(14);所述舟片体(14)一侧的两端设置对称分布的固定片(10),固定片(10)从舟片体(14)的端部向外延伸;所述固定片(10)上设置第一固定片安装孔(11)及第二固定片安装孔(12),所述第一固定片安装孔(11)及第二固定片安装孔(12)与舟片体(14)上相应的石墨棒安装孔(9)的孔径相一致,与石墨棒(2)对应间隙配合,石墨棒(2)穿过相应的第一固定片安装孔(11)和第二固定片安装孔(12),将相应的石墨舟片(6)串接在一起。

3.根据权利要求1所述的自动石墨舟,其特征在于,所述石墨舟片(6)表面均安装若干硅片(13);硅片(13)的外圈设置第一固定工艺点(3)、第二固定工艺点(4)及第三固定工艺点(5);所述硅片(13)通过第一固定工艺点(3)、第二固定工艺点(4)及第三固定工艺点(5)安装固定于相应的石墨舟片(6)上。

4.根据权利要求1所述的自动石墨舟,其特征在于,所述石墨舟片(6)上对应于设置固定片(10)另一侧的石墨棒安装孔(9)偏移,以避免安装硅片(13)时产生的碰撞,方便石墨棒安装孔(9)均匀分布于舟片体(14)上。

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