[实用新型]一种自动石墨舟有效
| 申请号: | 201420580027.8 | 申请日: | 2014-10-09 |
| 公开(公告)号: | CN204257607U | 公开(公告)日: | 2015-04-08 |
| 发明(设计)人: | 冯晓倩;郑方渊;张华 | 申请(专利权)人: | 上海弘竣实业有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 201708 上海市青浦区*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 自动 石墨 | ||
1.一种自动石墨舟,包括石墨舟片(6)、石墨棒(2)、石墨螺母(1)、石墨块(7)和陶瓷管(8);其特征在于,所述石墨舟由若干个依次交错分布的石墨舟片(6)组成,石墨舟片(6)间通过石墨棒(2)及石墨螺母(1)串接后紧固连接,每个石墨舟片(6)上均设有石墨棒安装孔(9);所述每个石墨舟片(6)之间均通过陶瓷管(8)相隔离,所述陶瓷管(8)套在石墨棒(2)上;每个石墨舟片(6)间端部的石墨棒(2)上均套有石墨块(7)。
2.根据权利要求1所述的自动石墨舟,其特征在于,所述石墨舟片(6)包括舟片体(14);所述舟片体(14)一侧的两端设置对称分布的固定片(10),固定片(10)从舟片体(14)的端部向外延伸;所述固定片(10)上设置第一固定片安装孔(11)及第二固定片安装孔(12),所述第一固定片安装孔(11)及第二固定片安装孔(12)与舟片体(14)上相应的石墨棒安装孔(9)的孔径相一致,与石墨棒(2)对应间隙配合,石墨棒(2)穿过相应的第一固定片安装孔(11)和第二固定片安装孔(12),将相应的石墨舟片(6)串接在一起。
3.根据权利要求1所述的自动石墨舟,其特征在于,所述石墨舟片(6)表面均安装若干硅片(13);硅片(13)的外圈设置第一固定工艺点(3)、第二固定工艺点(4)及第三固定工艺点(5);所述硅片(13)通过第一固定工艺点(3)、第二固定工艺点(4)及第三固定工艺点(5)安装固定于相应的石墨舟片(6)上。
4.根据权利要求1所述的自动石墨舟,其特征在于,所述石墨舟片(6)上对应于设置固定片(10)另一侧的石墨棒安装孔(9)偏移,以避免安装硅片(13)时产生的碰撞,方便石墨棒安装孔(9)均匀分布于舟片体(14)上。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





