[实用新型]药液供给系统有效
| 申请号： | 201420570406.9 | 申请日： | 2014-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN204215215U | 公开（公告）日： | 2015-03-18 |
| 发明（设计）人： | 张磊;张明 | 申请（专利权）人： | 北京七星华创电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/05 | 分类号： | G05B19/05 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 李相雨 |
| 地址： | 100015 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 药液 供给 系统 | ||
1.一种药液供给系统，其特征在于，包括药液存储装置、压力传感器、控制装置以及相互串联的多级泵；
所述药液存储装置与所述多级泵中第一级泵的输入口相连；
所述压力传感器设置在与所述多级泵中最后一级泵的输出口相连的管路上，所述压力传感器用于检测所述最后一级泵输出的液体压力；
所述控制装置与所述压力传感器以及所述多级泵中每一级泵相连，所述控制装置用于根据所述压力传感器检测的液体压力控制所述每一级泵的转速。
2.根据权利要求1所述的药液供给系统，其特征在于，所述控制装置包括PLC控制器以及每一级泵对应的泵控制器；
所述PLC控制器与所述压力传感器相连，所述PLC控制器根据所述压力传感器检测的液体压力以及预设的目标压力确定每一级泵的转速，并将所述每一级泵的转速发送至对应的泵控制器；
所述泵控制器与对应的泵相连，所述泵控制器根据接收的转速对所述对应的泵进行控制。
3.根据权利要求1所述的药液供给系统，其特征在于，所述药液存储装置通过第一三通气动阀与所述第一级泵的输入口相连，所述第一三通气动阀的第一端与所述药液存储装置相连，所述第一三通气动阀的第二端与所述第一级泵的输入口相连，所述第一三通气动阀的第三端与超纯水传输管路相连。
4.根据权利要求1所述的药液供给系统，其特征在于，所述与所述多级泵中最后一级泵的输出口相连的管路上还依次设置有第二三通气动阀、手动截止阀和过滤器；
所述第二三通气动阀的第一端与所述最后一级泵的输出口相连，所述第二三通气动阀的第二端与所述手动截止阀的第一端连，所述第二三通气动阀的第三端与废液排放管路相连，所述手动截止阀的第二端与所述过滤器的第一端相连。
5.根据权利要求4所述的药液供给系统，其特征在于，所述压力传感器设置在所述过滤器的第二端。
6.根据权利要求1所述的药液供给系统，其特征在于，所述多级泵中的每一级泵的转速相同。
7.根据权利要求1所述的药液供给系统，其特征在于，还包括与每一级泵一一对应的电源。
8.根据权利要求1至7任一所述的药液供给系统，其特征在于，所述多级泵中的每一级泵为磁悬浮泵。
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