[实用新型]药液供给系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及自动化控制领域，尤其涉及一种药液供给系统。

背景技术

为提高铜互连硅片清洗生产的良率和硅片清洗质量的一致性，化学药液供给系统CDS输出的药液流量既要确保可以完全去除硅片上的残留光刻胶、污染颗粒以及通孔内聚合物，而且流量不应超出工艺设定范围导致药液对器件结构腐蚀，因此CDS输出药液流量应保持为一个恒定的工艺设定值。

其中，在其他因素(流体粘度、流体温度等)不变的情况下，流量大小由流体的压力决定，即控制流体流量是通过控制流体的供给压力来实现的，当CDS系统需要向多清洗腔室的清洗机输出药液时，尤其当药液的动力粘度系数较大时，为确保足够的输出压力，单泵往往需要运行在更高的转速下，这不利于泵的长期使用。

实用新型内容

(一)要解决的技术问题

本实用新型要解决的技术问题是如何解决药液流量需求较大及药液粘度系数较大情况下需要单泵高速运转，不利于长期使用的问题。

(二)技术方案

为解决上述技术问题，本实用新型的技术方案提供了一种药液供给系统，包括药液存储装置、压力传感器、控制装置以及相互串联的多级泵；

所述药液存储装置与所述多级泵中第一级泵的输入口相连；

所述压力传感器设置在与所述多级泵中最后一级泵的输出口相连的管路上，所述压力传感器用于检测所述最后一级泵输出的液体压力；

所述控制装置与所述压力传感器以及所述多级泵中每一级泵相连，所述控制装置用于根据所述压力传感器检测的液体压力控制所述每一级泵的转速。

进一步地，所述控制装置包括PLC控制器以及每一级泵对应的泵控制器；

所述PLC控制器与所述压力传感器相连，所述PLC控制器根据所述压力传感器检测的液体压力以及预设的目标压力确定每一级泵的转速，并将所述每一级泵的转速发送至对应的泵控制器；

所述泵控制器与对应的泵相连，所述泵控制器根据接收的转速对所述对应的泵进行控制。

进一步地，所述药液存储装置通过第一三通气动阀与所述第一级泵的输入口相连，所述第一三通气动阀的第一端与所述药液存储装置相连，所述第一三通气动阀的第二端与所述第一级泵的输入口相连，所述第一三通气动阀的第三端与超纯水传输管路相连。

进一步地，所述与所述多级泵中最后一级泵的输出口相连的管路上还依次设置有第二三通气动阀、手动截止阀和过滤器；

所述第二三通气动阀的第一端与所述最后一级泵的输出口相连，所述第二三通气动阀的第二端与所述手动截止阀的第一端连，所述第二三通气动阀的第三端与废液排放管路相连，所述手动截止阀的第二端与所述过滤器的第一端相连。

进一步地，所述压力传感器设置在所述过滤器的第二端。

进一步地，所述多级泵中的每一级泵的转速相同。

进一步地，还包括与每一级泵一一对应的电源。

进一步地，所述多级泵中的每一级泵为磁悬浮泵。

(三)有益效果

本实用新型提供的药液供给系统，将多级泵采用串联的方式相连，并通过控制装置根据多级泵输出的液体压力对每一级泵的转速进行控制，从而解决了药液流量需求较大及药液粘度系数较大情况下需要单泵高速运转，不利于长期使用的问题。

附图说明

图1是本实用新型实施方式提供的一种药液供给系统的示意图；

图2是本实用新型实施方式提供的另一种药液供给系统的示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。

图1是本实用新型实施方式提供的一种药液供给系统的示意图，该药液供给系统包括药液存储装置100、压力传感器400、控制装置300以及相互串联的多级泵200；

所述药液存储装置100与所述多级泵200中第一级泵201的输入口相连；

所述压力传感器400设置在与所述多级泵200中最后一级泵20n的输出口相连的管路上，所述压力传感器400用于检测所述最后一级泵20n输出的液体压力；

所述控制装置300与所述压力传感器400以及所述多级泵200中每一级泵相连，所述控制装置300用于根据所述压力传感器400检测的液体压力控制所述每一级泵的转速。