[实用新型]一种靶材真空干燥机的载物装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种靶材真空干燥机的载物装置。 

背景技术

靶材在生产过程中需要进行干燥，现有的靶材一般都是放在真空干燥机中进行干燥，在干燥开始时，需将靶材放入真空干燥机的干燥室中，然而随着靶材的体积越做越大，采用人工将靶材放入真空干燥机的干燥室，就带来了很多弊端，如大型的靶材放入干燥室内时，容易产生碰撞，损坏靶材，而且操作非常不方便，因而生产效率较低。 

发明内容

为了解决现有技术中的不足，本实用新型的目的在于提供一种结构简单、生产效率高、操作方便的靶材真空干燥机的载物装置。 

为实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案： 

一种靶材真空干燥机的载物装置，其设置在真空干燥机干燥室的开口侧，所述载物装置包括支撑架，所述支撑架的顶部设有支撑台，支撑台的台面与真空干燥机干燥室的底面齐平；所述支撑台的上方设有载物台，所述载物台的底部设有滚轮，滚轮设在支撑台上，并带动载物台在支撑台和真空干燥机干燥室的底面上来回滑动。

所述支撑台的两端分别设有限制载物台滑动的侧栏板，所述侧栏板靠近真空干燥机的一端铰接有可打开或闭合的前栏板。所述侧栏板远离真空干燥机的一端设有后栏板。 

所述支撑架的底部也设有滚轮。 

所述支撑台的台面的四个顶角处分别设有手推杆。 

本实用新型采用以上技术方案，大型靶材在进入真空干燥机的干燥室内前，先将大型靶材放置在载物台上，然后再将载物台推入真空干燥机的干燥室内，这样的方式，可以大大提高生产效率，而且不会造成靶材的损坏，而且操作方便。另外，本实用新型的结构简单，制造成本低，维护方便。 

附图说明

以下结合附图和具体实施方式对本实用新型做进一步详细说明： 

图1为本实用新型一种靶材真空干燥机的载物装置的主视图；

图2为图1中A处的放大图。

具体实施方式

如图1或图2所示，本实用新型一种靶材真空干燥机的载物装置，其设置在真空干燥机10干燥室101的开口侧，所述载物装置包括支撑架1，所述支撑架1的顶部设有支撑台2，支撑台2的台面与真空干燥机10干燥室101的底面齐平；所述支撑台2的上方设有载物台3，所述载物台3的底部设有滚轮4，滚轮4设在支撑台2上，并带动载物台3在支撑台2和真空干燥机10干燥室101的底面上来回滑动。 

所述支撑台2的两端分别设有限制载物台3滑动的侧栏板5，所述侧栏板5靠近真空干燥机10的一端铰接有可打开或闭合的前栏板6。所述侧栏板5远离真空干燥机10的一端设有后栏板7。侧栏板5、前栏板6和后栏板7用于限制载物台3底部滚轮4的运动，侧栏板5可以避免载物台3进出真空干燥机10运动时载物台3跑偏，后栏板7可以防止载物台3从真空干燥机10退回支撑台2上时掉离支撑台2。另外，前栏板6可打开或关闭，关闭时通过销钉11锁死。 

所述支撑架1的底部也设有滚轮8。支撑架1底部的滚轮8方便整体移位。 

所述支撑台2的台面的四个顶角处分别设有手推杆9。手推杆9方便推动载物台3。 

本实用新型的工作原理：大型靶材在进入真空干燥机10的干燥室101内前，先将大型靶材放置在载物台3上，然后再将载物台3推入真空干燥机10的干燥室101内即可。干燥完成后，也只要将整个载物台3退回支撑台2上，操作非常方便。