[实用新型]一种靶材真空干燥机的载物装置有效
申请号: | 201420559423.2 | 申请日: | 2014-09-26 |
公开(公告)号: | CN204100765U | 公开(公告)日: | 2015-01-14 |
发明(设计)人: | 林杰;王维纲;侯则良 | 申请(专利权)人: | 福建省诺希新材料科技有限公司 |
主分类号: | F26B25/00 | 分类号: | F26B25/00 |
代理公司: | 福州君诚知识产权代理有限公司 35211 | 代理人: | 戴雨君 |
地址: | 350000 福建省*** | 国省代码: | 福建;35 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 真空 干燥机 装置 | ||
1.一种靶材真空干燥机的载物装置,其设置在真空干燥机干燥室的开口侧,所述载物装置包括支撑架,其特征在于:所述支撑架的顶部设有支撑台,支撑台的台面与真空干燥机干燥室的底面齐平;所述支撑台的上方设有载物台,所述载物台的底部设有滚轮,滚轮设在支撑台上,并带动载物台在支撑台和真空干燥机干燥室的底面上来回滑动。
2.根据权利要求1所述的一种靶材真空干燥机的载物装置,其特征在于:所述支撑台的两端分别设有限制载物台滑动的侧栏板,所述侧栏板靠近真空干燥机的一端铰接有可打开或闭合的前栏板。
3.根据权利要求2所述的一种靶材真空干燥机的载物装置,其特征在于:所述侧栏板远离真空干燥机的一端设有后栏板。
4.根据权利要求1所述的一种靶材真空干燥机的载物装置,其特征在于:所述支撑架的底部也设有滚轮。
5.根据权利要求1所述的一种靶材真空干燥机的载物装置,其特征在于:所述支撑台的台面的四个顶角处分别设有手推杆。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于福建省诺希新材料科技有限公司,未经福建省诺希新材料科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201420559423.2/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。