[实用新型]一种微通道板的镀膜卡具有效
| 申请号： | 201420552706.4 | 申请日： | 2014-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN204162779U | 公开（公告）日： | 2015-02-18 |
| 发明（设计）人： | 李方骏 | 申请（专利权）人： | 中国建筑材料科学研究总院 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙) 11348 | 代理人： | 王伟锋;刘铁生 |
| 地址： | 100024*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 通道 镀膜 卡具 | ||
【权利要求书】：
1.一种微通道板的镀膜卡具，其特征在于，包括：
上盖；
下盖，所述下盖与所述上盖相对设置，在所述下盖上设有一圆槽，用于放置微通道板；
至少两个沉槽，所述沉槽设置在所述上盖上；
至少两个螺孔，设置在所述下盖上，所述螺孔的数目与所述沉槽的数目相同，且所述螺孔与所述沉槽相对设置；
至少两个沉头螺丝，通过所述螺孔设置在所述沉槽内。
2.根据权利要求1所述的微通道板的镀膜卡具，其特征在于，
所述沉槽在所述上盖上平均分布。
3.根据权利要求1或2所述的微通道板的镀膜卡具，其特征在于，
所述沉槽的数目为四个，所述螺孔的数目也为四个。
4.根据权利要求1所述的微通道板的镀膜卡具，其特征在于，
所述上盖的材质为铜。
5.根据权利要求1所述的微通道板的镀膜卡具，其特征在于，
所述下盖的材质为铜。
6.根据权利要求1所述的微通道板的镀膜卡具，其特征在于，
所述沉头螺丝的材质为不锈钢。
7.根据权利要求1所述的微通道板的镀膜卡具，其特征在于，
所述上盖为圆环。
8.根据权利要求1所述的微通道板的镀膜卡具，其特征在于，
所述下盖为圆环。
9.一种真空镀膜机，包括真空泵、定子、转子和卡具，所述卡具设置在所述转子上，其特征在于，
所述卡具为权利要求1至8中任一项所述的微通道板的镀膜卡具。
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