[实用新型]紫外线固化装置

权利要求书

1.一种紫外线固化装置，其特征在于，包括：

紫外光源；

腔体，设置于所述紫外光源的下方；

用于承载被照射物的承载台，设置于所述腔体内部；

用于将所述紫外光源发出的光透射进所述腔体的透光隔板，设置于所述腔体顶部；以及

用于部分阻挡所述紫外光源发出的光的抗紫外线层，设置于所述透光隔板上。

2.如权利要求1所述的紫外线固化装置，其特征在于：所述紫外光源包括一转盘和设置于所述转盘上的灯管。

3.如权利要求2所述的紫外线固化装置，其特征在于：所述灯管的数量为两根，互相平行排列。

4.如权利要求1所述的紫外线固化装置，其特征在于：所述抗紫外线层为圆形，设置于所述透光隔板表面的中部。

5.如权利要求1所述的紫外线固化装置，其特征在于：所述抗紫外线层的厚度从其中部到周围递减。

6.如权利要求1所述的紫外线固化装置，其特征在于：所述透光隔板为石英窗片。

7.如权利要求1所述的紫外线固化装置，其特征在于：所述腔体的侧面设置有开口和挡板，所述挡板可活动地连接所述开口。

8.如权利要求1-7任意一项所述的紫外线固化装置，其特征在于：所述被照射物为沉积氧化物后的晶圆。