[实用新型]石墨底板和多晶硅锭炉的硅溢流检测装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及多晶硅领域，尤其涉及一种用于石墨底板和多晶硅锭炉的硅溢流检测装置。

背景技术

坩埚在铸锭(高温)时破裂或变形，高温硅液在坩埚破裂或变形后溢出坩埚体外，渗透隔热层底部的隔热板，溢出的硅液将下炉腔中的溢流报警线熔断，触发硅液溢流报警器报警。

现有技术中的流出坩埚外部的硅液往往因为突破石墨护板的阻拦而不能滴落或者延缓滴落至溢流线上，使得硅液溢流检测装置较晚察觉到硅液的溢流，产生更大的损失，甚至引发生产安全事故。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题在于，提供一种能够及时检测到硅液溢流的石墨底板和多晶硅锭炉的硅溢流检测装置。

为了解决上述技术问题，本实用新型的实施例提供了一种石墨底板，用于承载多晶硅铸锭炉中的坩埚，所述石墨底板开设环形槽和溢流通道；所述溢流通道连通于所述环形槽与所述石墨底板的边缘之间，当所述坩埚中漏出的硅液滴入所述环形槽时，所述溢流通道用于使所述硅液流到所述石墨底板的边缘处，并滴落到溢流线。

其中，所述环形槽的槽宽为10～15mm。

其中，所述环形槽包括底面，所述底面正对所述环形槽的开口，所述底面为沿着所述硅液的流动方向倾斜的斜面，所述坩埚中漏出的硅液沿着所述底面的倾斜方向流至所述溢流通道。

其中，所述底面的横截面为圆弧形。

其中，所述环形槽的纵截面为回形，所述底面具有两个顶点和两个底点，两个所述顶点和两个所述底点分别设置于所述环形槽的四个边角上，其中一个所述顶点分别与两个所述底点形成两个引流通道，所述引流通道通过其高度差使所述底面上的硅液流入所述溢流通道。

其中，所述溢流通道的数量为两个，两个所述溢流通道分别连通至所述底面的两个所述底点。

本实用新型还提供了一种多晶硅锭炉的硅溢流检测装置，包括炉腔、设置于所述炉腔中的所述的石墨底板、坩埚、石墨固定块、隔热块和溢流线，

所述坩埚承载于所述石墨底板上，所述坩埚的底部的边缘位于所述环形槽的槽宽之间，

所述石墨固定块承载所述石墨底板，所述隔热块设于所述石墨固定块的下方，所述隔热块开设溢流孔，所述溢流孔正对所述溢流通道，所述溢流线位于所述隔热块的下方，且正对所述溢流孔。

其中，所述多晶硅锭炉的硅溢流检测装置还包括岩棉，所述岩棉铺设于所述炉腔的底部上。

本实用新型提供的石墨底板通过在石墨底板上开设环形槽，同时，坩埚的底部的边缘位于环形槽的槽宽之间，使得承载于所述石墨底板上坩埚一旦破裂，硅液就会溢流至所述环形槽中，进而滴至所述溢流线，从而能够及时检测到硅液溢流，减少损失及降低生产安全事故发生的概率。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型实施例提供的石墨底板的示意图；

图2是承载有坩埚的石墨底板的示意图；

图3是图1中的石墨底板沿着I-I线的剖视图；

图4是图1中的石墨底板沿着II-II线的剖视图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施方式中的附图，对本实用新型实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述。

请参阅图1至图2，本实用新型实施方式提供的一种石墨底板100和多晶硅铸锭炉的硅溢流检测装置(未图示)，所述多晶硅铸锭炉的硅溢流检测装置包括炉腔、设置于所述炉腔中的所述的石墨底板100、坩埚200、石墨固定块、隔热块和溢流线，所述坩埚200承载于所述石墨底板100上，所述坩埚200的底部的边缘位于所述环形槽2的槽宽L1之间，所述石墨固定块承载所述石墨底板100，所述隔热块设于所述石墨固定块的下方，所述隔热块开设溢流孔，所述溢流孔正对所述溢流通道3，所述溢流线位于所述隔热块的下方，且正对所述溢流孔。其中，所述石墨底板100开设环形槽2和溢流通道3；所述溢流通道3连通于所述环形槽2与所述石墨底板100的边缘之间，当所述坩埚200中漏出的硅液300滴入所述环形槽2时，所述溢流通道3用于使所述硅液300流到所述石墨底板100的边缘处，并滴落到溢流线。