[实用新型]一种硅片磨片机用新型蠕动泵

说明书

技术领域

本发明创造属于蠕动泵领域，尤其是涉及一种硅片磨片机中使用的新型蠕动泵。

背景技术

磨片机的作用是通过研磨的方法，清除前序切片过程及激光标识时产生的不同损伤。蠕动泵的作用是为研磨过程泵送研磨砂，通过调节蠕动泵电机转速，调整泵送的流量，以满足工艺要求。

现有磨片机多采用医用蠕动泵，而使用环境，使用强度，泵送介质都与医用蠕动泵不同，特别是为了达到规定的流量，常常使泵头在高速下运转，导致泵头经常损坏，电机维修率增加，影响生产效率，使生产成本增加。

目前在实际生产中亟需一种可以在更低的转速下就能输出需要流量的蠕动泵，从而减少泵头的磨损，达到稳定的使用效果，以及更低的维修率。

发明内容

本发明创造要解决的问题是提供一种能够在低转速下输出额定流量的硅片磨片机用蠕动泵。

为解决上述技术问题，本发明创造采用的技术方案是：一种硅片磨片机用新型蠕动泵，包括驱动单元、底座、移动架、调整板、压杆、压杆帽、泵头和泵壳；

所述驱动单元包括调速电机和减速机；

所述底座包括底座立板、底板、管固定块和支柱，所述底板包括第一底板、第二底板；所述底座立板上设有中心圆孔及相对于中心圆孔对称的两个长孔；所述第一底板固定在底座立板一侧，所述第二底板固定在底座立板另一侧，所述底板下表面设有支柱；所述管固定块固定在第二底板侧壁上；

所述调整板为L型支架，包括长边支架和短边支架，所述长边支架上设有槽孔，所述长边支架的一端和短边支架的一端相连；

所述泵头包括支板、端盖和辊子，所述端盖包括第一端盖和第二端盖；所述辊子的一端与第一端盖连接，所述辊子的另一端与第二端盖连接，且所述第一端盖和第二端盖的圆心在一条直线上，所述支板与第一端盖连接；

所述泵壳两侧面各设有一道通槽，所述泵壳前面和后面各设有一段与泵头端盖相配合的圆弧；

所述调速电机的输出轴与减速机连接，所述减速机输出轴穿过底座立板上的中心圆孔与泵头的第二端盖连接，所述驱动单元固定在第一底板上，所述泵头的支板固定在第二底板上，所述移动架穿过底座立板上的长孔固定在第二底板一侧的底座立板上，所述移动架上设有两块调整板，其中每块所述调整板的短边支架移动架连接，所述泵壳卡固在两块调整板之间，所述压杆由上至下依次穿过泵壳通槽和调整板的长边支架上的槽孔，所述压杆底部与调整板的长边支架通过卡固件固定，压杆头部与压杆帽连接。

优选地，所述泵头设有三个辊子，且辊子绕端盖的圆心在端盖所在平面的同心圆上均匀分布。

优选地，压杆头部与压杆帽的连接为螺纹连接。

优选地，所述管固定块设有两块，两块所述管固定块分别固定在第二底板相平行的两个侧壁上，且每块管固定块上设有至少一个管孔。

本发明创造具有的优点和积极效果是：首先，本发明创造能够在较低转速下运行即可达到规定流量，降低了泵头和泵管的磨损程度；其次，全新的机械结构设计，可以同时连接两根蠕动管，有利于砂浆在磨盘上的均匀分布，泵壳针对其内表面圆弧的优化设计，可使泵管在泵头的挤压下，稳定的泵送砂浆，在使用不同尺寸的泵管时，可通过移动架的调节，精确控制泵管的压紧量，确保在不同流量范围内实现相同的传输精度；宽辊子的设计，使得一个泵头可以同时挤压两根泵管泵送砂浆，增大了流量调节的范围，有利于满足工艺对不同流量的需求。

附图说明

图1是本发明创造总装配图；

图2是本发明创造总装分解视图；

图3是泵头结构示意图；

图4是泵壳结构示意图；

图5是部分底座结构示意图；

图中：1-调速电机，2-减速机，3-底座，31-底座立板，311中心圆孔，312-长孔，32-第一底板，33-第二底板，34-管固定块，35-支柱，4-移动架，5-调整板，51-长边支架，52-短边支架，6-压杆，7-压杆帽，8-泵头，81-支板，82-第一端盖，83-第二端盖，84-辊子，9-泵壳，91-通槽。

具体实施方式

下面结合附图对本发明创造的具体实施例做详细说明。