[实用新型]一种硅片磨片机用新型蠕动泵

权利要求书

1.一种硅片磨片机用新型蠕动泵，其特征在于：包括驱动单元、底座、移动架、调整板、压杆、压杆帽、泵头和泵壳；

所述驱动单元包括调速电机和减速机；

所述底座包括底座立板、底板、管固定块和支柱，所述底板包括第一底板、第二底板；所述底座立板上设有中心圆孔及相对于中心圆孔对称的两个长孔；所述第一底板固定在底座立板一侧，所述第二底板固定在底座立板另一侧，所述底板下表面设有支柱；所述管固定块固定在第二底板侧壁上；

所述调整板为L型支架，包括长边支架和短边支架，所述长边支架上设有槽孔，所述长边支架的一端和短边支架的一端相连；

所述泵头包括支板、端盖和辊子，所述端盖包括第一端盖和第二端盖；所述辊子的一端与第一端盖连接，所述辊子的另一端与第二端盖连接，且所述第一端盖和第二端盖的圆心在一条直线上，所述支板与第一端盖连接；

所述泵壳两侧面各设有一道通槽，所述泵壳前面和后面各设有一段与泵头端盖相配合的圆弧；

所述调速电机的输出轴与减速机连接，所述减速机输出轴穿过底座立板上的中心圆孔与泵头的第二端盖连接，所述驱动单元固定在第一底板上，所述泵头的支板固定在第二底板上，所述移动架穿过底座立板上的长孔固定在第二底板一侧的底座立板上，所述移动架上设有两块调整板，其中每块所述调整板的短边支架移动架连接，所述泵壳卡固在两块调整板之间，所述压杆由上至下依次穿过泵壳通槽和调整板的长边支架上的槽孔，所述压杆底部与调整板的长边支架通过卡固件固定，压杆头部与压杆帽连接。

2.根据权利要求1所述的一种硅片磨片机用新型蠕动泵，其特征在于：所述泵头设有三个辊子，且辊子绕端盖的圆心在端盖所在平面的同心圆上均匀分布。

3.根据权利要求1所述的一种硅片磨片机用新型蠕动泵，其特征在于：所述压杆头部与压杆帽的连接为螺纹连接。

4.根据权利要求1所述的一种硅片磨片机用新型蠕动泵，其特征在于：所述管固定块设有两块，两块所述管固定块分别固定在第二底板相平行的两个侧壁上，且每块管固定块上设有至少一个管孔。