[实用新型]超纯硫酸量产系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及化工技术领域，尤其涉及一种超纯硫酸量产系统。

背景技术

随着电子工业的发展，超纯硫酸的研制和生产亦快速发展。超纯硫酸主要用于硅晶片的清洗、光刻、印刷电路板的腐蚀和清洗。超纯硫酸一般采用蒸馏工艺生产，此工艺不能实现大规模生产，环境污染大和生产危险度高。另一种方法是：三氧化硫直接吸收工艺，该工艺目前我国尚无先例。为解决上述问题，特研发出一种超纯硫酸量产系统。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种超纯硫酸量产系统。

本实用新型的技术方案为：一种超纯硫酸量产系统，由吸收塔、酸冷器、SO₂脱析罐、缓冲罐、双氧水储罐、循环罐、超纯水制备机和超纯酸储罐组成，所述吸收塔的上端分别通过管路与酸冷器和SO₂脱析罐连通，所述吸收塔的底端通过管路与循环罐连通，所述吸收塔上设有去风机进口和三氧化硫进口，所述去风机进口位于吸收塔的顶端，所述三氧化硫进口位于吸收塔的底端，所述酸冷器的底端通过管路与循环罐连通，所述酸冷器与循环罐之间的管路上设有第一循环泵，所述循环罐分别与双氧水储罐和超纯水制备机通过管路连通，所述循环罐与双氧水储罐之间的管路上设有双氧水计量泵，所述SO₂脱析罐的上端通过管路与缓冲罐连通，所述SO₂脱析罐的底端通过管路与超纯酸储罐连通，所述SO₂脱析罐与超纯酸储罐之间的管路上设有第二循环泵，所述SO₂脱析罐的顶端设有脱析罐排气口，所述超纯酸储罐的顶部设有纯酸储罐排气口，所述缓冲罐的一端设有真空泵，所述缓冲罐与真空泵通过管路连通，所述超纯酸储罐上设有输出口。

进一步，所述吸收塔、酸冷器、SO₂脱析罐、缓冲罐、循环罐和超纯酸储罐内层均设有氟聚合物层。

进一步，所述吸收塔采用烛式多级过滤器过滤。

进一步，所述酸冷器为蝶片式酸冷器，所述酸冷器上设有若干条循环水管路。

再进一步，所述脱析罐排气口上设有第一空气过滤器。

再进一步，所述纯酸储罐排气口上设有第二空气过滤器。

本实用新型的有益效果在于：该超纯硫酸量产系统安全可靠，无环境污染，可实现大规模生产，为企业创造经济效益，可在硫酸行业推广使用。

附图说明

图1为本实用新型示意图。

其中：1、吸收塔     2、酸冷器             3、SO₂脱析罐

4、第一空气过滤器   5、缓冲罐             6、真空泵

7、双氧水储罐       8、双氧水计量泵       9、循环罐

10、第一循环泵      11、超纯水制备机      12、第二循环泵

13、超纯酸储罐      14、第二空气过滤器    15、去风机进口

16、三氧化硫进口    17、循环水管路        18、脱析罐排气口

19、输出口          20、纯酸储罐排气口

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做出简要说明。

如图1所示一种超纯硫酸量产系统，由吸收塔1、酸冷器2、SO₂脱析罐3、缓冲罐5、双氧水储罐7、循环罐9、超纯水制备机11和超纯酸储罐13组成，所述吸收塔1的上端分别通过管路与酸冷器2和SO₂脱析罐3连通，所述吸收塔1的底端通过管路与循环罐9连通，所述吸收塔1上设有去风机进口15和三氧化硫进口16，所述去风机进口15位于吸收塔1的顶端，所述三氧化硫进口16位于吸收塔1的底端，所述酸冷器2的底端通过管路与循环罐9连通，所述酸冷器2与循环罐9之间的管路上设有第一循环泵10，所述循环罐9分别与双氧水储罐7和超纯水制备机11通过管路连通，所述循环罐9与双氧水储罐7之间的管路上设有双氧水计量泵8，所述SO₂脱析罐3的上端通过管路与缓冲罐5连通，所述SO₂脱析罐3的底端通过管路与超纯酸储罐13连通，所述SO₂脱析罐3与超纯酸储罐13之间的管路上设有第二循环泵12，所述SO₂脱析罐3的顶端设有脱析罐排气口18，所述超纯酸储罐13的顶部设有纯酸储罐排气口20，所述缓冲罐5的一端设有真空泵6，所述缓冲罐5与真空泵6通过管路连通，所述超纯酸储罐13上设有输出口19。