[实用新型]超纯硫酸量产系统

权利要求书

1.一种超纯硫酸量产系统，其特征在于：由吸收塔、酸冷器、SO₂脱析罐、缓冲罐、双氧水储罐、循环罐、超纯水制备机和超纯酸储罐组成，所述吸收塔的上端分别通过管路与酸冷器和SO₂脱析罐连通，所述吸收塔的底端通过管路与循环罐连通，所述吸收塔上设有去风机进口和三氧化硫进口，所述去风机进口位于吸收塔的顶端，所述三氧化硫进口位于吸收塔的底端，所述酸冷器的底端通过管路与循环罐连通，所述酸冷器与循环罐之间的管路上设有第一循环泵，所述循环罐分别与双氧水储罐和超纯水制备机通过管路连通，所述循环罐与双氧水储罐之间的管路上设有双氧水计量泵，所述SO₂脱析罐的上端通过管路与缓冲罐连通，所述SO₂脱析罐的底端通过管路与超纯酸储罐连通，所述SO₂脱析罐与超纯酸储罐之间的管路上设有第二循环泵，所述SO₂脱析罐的顶端设有脱析罐排气口，所述超纯酸储罐的顶部设有纯酸储罐排气口，所述缓冲罐的一端设有真空泵，所述缓冲罐与真空泵通过管路连通，所述超纯酸储罐上设有输出口。

2.根据权利要求1所述超纯硫酸量产系统，其特征在于：所述吸收塔、酸冷器、SO₂脱析罐、缓冲罐、循环罐和超纯酸储罐内层均设有氟聚合物层。

3.根据权利要求1所述超纯硫酸量产系统，其特征在于：所述吸收塔采用烛式多级过滤器过滤。

4.根据权利要求1所述超纯硫酸量产系统，其特征在于：所述酸冷器为蝶片式酸冷器，所述酸冷器上设有若干条循环水管路。

5.根据权利要求1-4任意一项所述超纯硫酸量产系统，其特征在于：所述脱析罐排气口上设有第一空气过滤器。

6.根据权利要求1-4任意一项所述超纯硫酸量产系统，其特征在于：所述纯酸储罐排气口上设有第二空气过滤器。