[实用新型]一种抛光机抛光液管路纯水反冲装置有效
| 申请号： | 201420491658.2 | 申请日： | 2014-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN204149032U | 公开（公告）日： | 2015-02-11 |
| 发明（设计）人： | 卓元 | 申请（专利权）人： | 洛阳单晶硅集团有限责任公司 |
| 主分类号： | B24B57/00 | 分类号： | B24B57/00;B08B9/032 |
| 代理公司： | 洛阳明律专利代理事务所 41118 | 代理人： | 卢洪方 |
| 地址： | 471000 河南省洛*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 抛光机 抛光 管路 纯水 反冲 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种抛光机抛光液管路纯水反冲装置，其特征是：所述的抛光机抛光液管路纯水反冲装置主要是由纯水供应球阀（1）、纯水流量计（2）、单向阀（3）、三通接头（4）、单向阀（5）构成；其中，三通接头（4）安装在抛光液供给球阀（6）出口处的管路上，三通接头（4）的第一个支路通过单向阀（5）与抛光液供给球阀（6）出口连接；三通接头（4）第二个支路通过单向阀（3）、纯水流量计（2）、纯水供应球阀（1）与纯水供应管道（7）连接；三通接头（4）第三个支路与抛光机内部抛光液管路（8）连接。
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