[实用新型]一种液体供应系统有效
| 申请号: | 201420470070.9 | 申请日: | 2014-08-20 |
| 公开(公告)号: | CN204007056U | 公开(公告)日: | 2014-12-10 |
| 发明(设计)人: | 董明;肖方 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 |
| 主分类号: | F26B21/14 | 分类号: | F26B21/14 |
| 代理公司: | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人: | 李仪萍 |
| 地址: | 100176 北京市大兴*** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 液体 供应 系统 | ||
1.一种液体供应系统,其特征在于,至少包含:
第一连通管、第二连通管、第一开关阀、第二开关阀、供应槽、补给槽、第一供液管、传感器控制阀、氮气管、支管、第一传感器和第二传感器;
其中,所述补给槽上部通过所述第一连通管与所述供应槽上部相连通,所述补给槽底部通过所述第二连通管与所述供应槽底部相连通;所述第一连通管和所述第二连通管上分别设有所述第一开关阀和所述第二开关阀;
所述第一供液管位于所述补给槽的上方;所述第一供液管靠近所述补给槽的一端设有所述传感器控制阀;
所述氮气管的一端置于所述供应槽内部上方;
所述支管两端分别连接于所述补给槽中液面的上部和所述补给槽的下部;且所述支管内自下而上依次设置有所述第一传感器和所述第二传感器,所述第一传感器和所述第二传感器均与所述传感器控制阀电连接。
2.根据权利要求1所述的液体供应系统,其特征在于:所述液体供应系统还包含第二供液管和浮球控制阀;所述第二供液管位于所述补给槽的上方;所述浮球控制阀设置于所述第二供液管靠近所述补给槽的一端。
3.根据权利要求1所述的液体供应系统,其特征在于:在所述支管内所述第一传感器的下方设置有第三传感器;在所述支管内所述第二传感器的上方设置有第四传感器。
4.根据权利要求2所述的液体供应系统,其特征在于:所述浮球阀为压铸不锈钢浮球阀。
5.根据权利要求1所述的液体供应系统,其特征在于:所述氮气管上设置一第三开关阀。
6.根据权利要求1所述的液体供应系统,其特征在于:所述供应槽和补给槽内的液体为异丙醇。
7.根据权利要求1或6所述的液体供应系统,其特征在于:还包含两个缓冲槽,分别置于所述供应槽和补给槽的外围;所述缓冲槽内注入有水,适于为所述供应槽和补给槽内的液体加热。
8.根据权利要求7所述的液体供应系统,其特征在于:所述缓冲槽内水的温度为60℃~80℃。
9.根据权利要求8所述的液体供应系统,其特征在于:所述缓冲槽内水的温度为70℃。
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