[实用新型]一种多晶硅碱化酸化过滤清洗装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种碱化酸化过滤清洗装置，特别涉及一种多晶硅碱化酸化过滤清洗装置。

背景技术

现有技术中，如专利CN201120244746.9公开了一种多功能铝件清洗池。为长方体形清洗池，所述长方体形清洗池一端侧壁外凸有半圆柱体，并且与半圆柱体所处侧壁相邻的长方体形清洗池侧壁宽度不小于半圆柱体的半径。该清洗池不具有酸洗与碱洗功能，也不具有清洗功能，处理效果差。

发明内容

本实用新型的主要目的在于提供一种既能实现酸洗功能，又能实现碱洗功能，且更具有清洗液清洗功能，大大提高了多晶硅的处理效果的多晶硅碱化酸化过滤清洗装置。

为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：

一种多晶硅碱化酸化过滤清洗装置，包括依次布置的酸液罐、酸洗池、碱液池、碱液罐以及清洗液罐，酸液罐与酸洗池连接，酸液罐与酸洗池之间设有第一单向阀，酸洗池内设有第一回收槽，第一回收槽的底部中间位置向下凹陷，第一回收槽的中间位置设有第一回收口，第一回收口与酸洗池的内部连通，第一回收槽的顶部两侧设有第一支撑轮，第一支撑轮上设有第一载物板，酸洗池的顶部设有酸液板，酸液板的对内朝向面设有若干出酸口，出酸口呈等间距布置，出酸口与酸洗池的内部连通，酸液板与酸液罐通过酸液管道连通；碱液罐与碱液池连接，碱液罐与碱液池之间设有第二单向阀，碱液池内设有第二回收槽，第二回收槽的底部中间位置向下凹陷，第二回收槽的中间位置设有第二回收口，第二回收口与碱液池的内部连通，第二回收槽的顶部两侧设有第二支撑轮，第二支撑轮上设有第二载物板，碱液池的顶部设有碱液板，碱液板的对内朝向面设有若干出碱口，出碱口呈等间距布置，出碱口与碱液池的内部连通，碱液板与碱液罐通过碱液管道连通；第一载物板为镂空结构，第二载物板为镂空结构，酸洗池与碱液池的顶部设有顶盖，顶盖的内部为空腔结构，顶盖的对内朝向面设有若干清洗口，顶盖与清洗液罐连通。

进一步地，所述顶盖与清洗液罐通过横向输液管和与横向输液管连接的竖向输液管连通。

进一步地，所述竖向输液管与清洗液罐的连接位置设有第三控制阀。

进一步地，所述酸液管道设有第一控制阀。

进一步地，所述碱液管道设有第二控制阀。

与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：由于酸液罐与酸洗池连接，酸液罐与酸洗池之间设有第一单向阀，酸洗池内设有第一回收槽，第一回收槽的底部中间位置向下凹陷，第一回收槽的中间位置设有第一回收口，第一回收口与酸洗池的内部连通，第一回收槽的顶部两侧设有第一支撑轮，第一支撑轮上设有第一载物板，酸洗池的顶部设有酸液板，酸液板的对内朝向面设有若干出酸口，出酸口呈等间距布置，出酸口与酸洗池的内部连通，酸液板与酸液罐通过酸液管道连通；碱液罐与碱液池连接，碱液罐与碱液池之间设有第二单向阀，碱液池内设有第二回收槽，第二回收槽的底部中间位置向下凹陷，第二回收槽的中间位置设有第二回收口，第二回收口与碱液池的内部连通，第二回收槽的顶部两侧设有第二支撑轮，第二支撑轮上设有第二载物板，碱液池的顶部设有碱液板，碱液板的对内朝向面设有若干出碱口，出碱口呈等间距布置，出碱口与碱液池的内部连通，碱液板与碱液罐通过碱液管道连通；第一载物板为镂空结构，第二载物板为镂空结构，酸洗池与碱液池的顶部设有顶盖，顶盖的内部为空腔结构，顶盖的对内朝向面设有若干清洗口，顶盖与清洗液罐连通，所以将待处理的多晶硅放置在第一载物板上，酸液罐给酸液板提供酸液，酸液从出酸口喷下，给多晶硅实现酸洗，酸液再从第一回收槽回收，从第一回收口流下，通过第一单向阀回收到酸液罐内；将酸洗后的多晶硅放置在第二载物板上，碱液罐提供碱液给碱液板，碱液板提供碱液并通过出碱口喷向酸洗后的多晶硅，实现碱洗功能，碱液再从第二回收槽与第二回收口流下，并通过第二单向阀输送入碱液罐；清洗液罐提供清洗液给顶盖，并通过清洗口给酸洗与碱洗后的多晶硅清洗，大大提高了多晶硅的处理效果。

【附图说明】

图1为本实用新型多晶硅碱化酸化过滤清洗装置的结构示意图。

【具体实施方式】

为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。