[实用新型]一种多晶硅碱化酸化过滤清洗装置

权利要求书

1.一种多晶硅碱化酸化过滤清洗装置，包括依次布置的酸液罐、酸洗池、碱液池、碱液罐以及清洗液罐，其特征在于：酸液罐与酸洗池连接，酸液罐与酸洗池之间设有第一单向阀，酸洗池内设有第一回收槽，第一回收槽的底部中间位置向下凹陷，第一回收槽的中间位置设有第一回收口，第一回收口与酸洗池的内部连通，第一回收槽的顶部两侧设有第一支撑轮，第一支撑轮上设有第一载物板，酸洗池的顶部设有酸液板，酸液板的对内朝向面设有若干出酸口，出酸口呈等间距布置，出酸口与酸洗池的内部连通，酸液板与酸液罐通过酸液管道连通；碱液罐与碱液池连接，碱液罐与碱液池之间设有第二单向阀，碱液池内设有第二回收槽，第二回收槽的底部中间位置向下凹陷，第二回收槽的中间位置设有第二回收口，第二回收口与碱液池的内部连通，第二回收槽的顶部两侧设有第二支撑轮，第二支撑轮上设有第二载物板，碱液池的顶部设有碱液板，碱液板的对内朝向面设有若干出碱口，出碱口呈等间距布置，出碱口与碱液池的内部连通，碱液板与碱液罐通过碱液管道连通；第一载物板为镂空结构，第二载物板为镂空结构，酸洗池与碱液池的顶部设有顶盖，顶盖的内部为空腔结构，顶盖的对内朝向面设有若干清洗口，顶盖与清洗液罐连通。 

2.根据权利要求1所述的多晶硅碱化酸化过滤清洗装置，其特征在于：所述顶盖与清洗液罐通过横向输液管和与横向输液管连接的竖向输液管连通。

3.根据权利要求2所述的多晶硅碱化酸化过滤清洗装置，其特征在于：所述竖向输液管与清洗液罐的连接位置设有第三控制阀。

4. 根据权利要求1所述的多晶硅碱化酸化过滤清洗装置，其特征在于：所述酸液管道设有第一控制阀。

5.根据权利要求1所述的多晶硅碱化酸化过滤清洗装置，其特征在于：所述碱液管道设有第二控制阀。