[实用新型]化学品供应系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及集成电路制造领域，尤其涉及一种化学品供应系统。

背景技术

随着我国半导体行业的继续发展,芯片生产线在我国也已开始越来越规模化，其目的是实现对芯片上的杂质、微粒子进行清洗等。并且，由于半导体制程的不断发展,线宽越来越窄,工艺的要求也越来越高,这些因素都对化学品供应系统提出了更高的要求。

如图1所示，一种化学品供应系统，包括：化学品桶101，气体平衡器102，桶空过滤器103，泵106，所述化学品桶101分别与所述气体平衡器102和所述泵106连接，所述泵106的输出端与桶空过滤器103连接。所述化学品供应系统依靠N2/Vacuum做动力的供应方式，且其供应和传输共用一套动力，其优点是供应压力平稳且节省空间节约成本；但由于传输时会有气泡进入管线，为了避免对生产造成影响，在液体到达生产机台之前会将气泡排放掉，原始设计在桶空过滤器103顶端设有桶空传感器104及阀门105，当桶空传感器104感觉到气泡时，阀门105打开排放掉气泡，但同时部分液体也随之排放掉，造成生产成本提高。

目前采用的方法是尽量保证化学品桶接头的密闭性，同时增加桶空传感器103的灵敏度。但采用上诉措施造成的后果是桶内剩余化学品较多，同样增加生产成本。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种化学品供应系统，既保证输送液体的品质又避免化学品的浪费。

为了达到上述目的，本实用新型提供了一种化学品供应系统，包括：化学品桶、泵、桶空过滤器，所述化学品桶通过第一管线与所述泵连接，所述泵通过第二管线与所述桶空过滤器连接；

还包括气液分离回收装置和气体平衡器，所述气液分离回收装置分别与桶空过滤器、第一管线及气体平衡器连接。

优选的，在上述化学品供应系统中，所述气液分离回收装置包括：回收桶、液位控制管和抽吸管，所述回收桶与桶空过滤器连接，所述液位控制管与所述回收桶连通，所述抽吸管的一端置于所述位控制管内，所述抽吸管的另一端与所述第一管线连接。

优选的，在上述化学品供应系统中，所述回收桶的顶部设置有液位控制连接头；所述液位控制管呈回字型，所述液位控制管穿过所述回收桶的侧壁，其通过所述液位控制连接头与所述抽吸管连接。

优选的，在上述化学品供应系统中，所述回收桶的顶部还设置有液端连接头，所述回收桶通过液端连接头与桶空过滤器连接。

优选的，在上述化学品供应系统中，所述回收桶的顶部还设置有气端连接头，所述回收桶通过所述气端连接头与气体平衡器连接。

优选的，在上述化学品供应系统中，所述回收桶的侧壁与液位控制管的连接处设置有开关。

优选的，在上述化学品供应系统中，所述开关呈“L”型。

优选的，在上述化学品供应系统中，所述开关与所述回收桶的侧壁之间的夹角为5°～20°。

优选的，在上述化学品供应系统中，所述桶空过滤器的顶端设置有桶空传感器。

优选的，在上述化学品供应系统中，所述化学品桶与所述气体平衡器连接。

上述技术方案具有如下优点或有益效果：

在本实用新型提供的化学品供应系统中，桶空过滤器排放的气液混合物进入到气液分离回收装置内；在所述气液分离回收装置内，液体下沉，气体上升，气液自然分离。其中，分离出来的液体进入到所述第一管线中，被重复利用；分离出来的气体通过气体平衡器排出，避免了气体进入化学品供应系统的管线。既保证了液体完全回收，避免了化学品的浪费，又保证了化学品供应系统的管道中没有气泡。

附图说明

图1为现有技术中化学品供应系统结构示意图；

图2为本实用新型实施例的化学品供应系统结构示意图；

图3为本实用新型实施例的气液分离回收装置放大结构示意图；

图4为本实用新型实施例的开关处于关闭状态的放大结构示意图；

图5为本实用新型实施例的开关处于打开状态的放大结构示意图；

图中，101-化学品桶；102-气体平衡器；103-桶空过滤器；104-桶空传感器；105-阀门；

201-化学品桶；202-气体平衡器；203-泵；204-桶空过滤器；205-气液分离回收装置；206-桶空传感器；207-第一管线；208-回收桶；209-液位控制管；210-开关；211-液端连接头；212-接收管；213-液位控制连接头；214-气端连接头；215-输入管；216-抽吸管；217-第二管线。

具体实施方式