[实用新型]化学品供应系统有效
| 申请号： | 201420454473.4 | 申请日： | 2014-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN204083814U | 公开（公告）日： | 2015-01-07 |
| 发明（设计）人： | 王学利 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | F17D1/14 | 分类号： | F17D1/14;F17D3/01 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 化学品 供应 系统 | ||
1.一种化学品供应系统，其特征在于，包括：化学品桶、泵、桶空过滤器，所述化学品桶通过第一管线与所述泵连接，所述泵通过第二管线与所述桶空过滤器连接；
还包括气液分离回收装置和气体平衡器，所述气液分离回收装置分别与桶空过滤器、第一管线及气体平衡器连接。
2.如权利要求1所述的化学品供应系统，其特征在于，所述气液分离回收装置包括：回收桶、液位控制管和抽吸管，所述回收桶与桶空过滤器连接，所述液位控制管与所述回收桶连接，所述抽吸管的一端置于所述位控制管内，所述抽吸管的另一端与所述第一管线连接。
3.如权利要求2所述的化学品供应系统，其特征在于，所述回收桶的顶部设置有液位控制连接头；所述液位控制管呈回字型，所述液位控制管穿过所述回收桶的侧壁，其通过所述液位控制连接头与所述抽吸管连接。
4.如权利要求3所述的化学品供应系统，其特征在于，所述回收桶的顶部还设置有液端连接头，所述回收桶通过液端连接头与桶空过滤器连接。
5.如权利要求4所述的化学品供应系统，其特征在于，所述回收桶的顶部还设置有气端连接头，所述回收桶通过所述气端连接头与气体平衡器连接。
6.如权利要求2所述的化学品供应系统，其特征在于，所述回收桶的侧壁与液位控制管的连接处设置有开关。
7.如权利要求6所述的化学品供应系统，其特征在于，所述开关呈“L”型。
8.如权利要求6所述的化学品供应系统，其特征在于，所述开关与所述回收桶的侧壁之间的夹角为5°～20°。
9.如权利要求1所述的化学品供应系统，其特征在于，所述桶空过滤器的顶端设置有桶空传感器。
10.如权利要求1所述的化学品供应系统，其特征在于，所述化学品桶与所述气体平衡器连接。
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