[实用新型]区熔热场线圈冷却水压力及流量测试台有效
申请号: | 201420438606.9 | 申请日: | 2014-08-06 |
公开(公告)号: | CN204008038U | 公开(公告)日: | 2014-12-10 |
发明(设计)人: | 姚长娟;靳立辉;刘旭光;王国瑞;于书瀚;贾弘源;王凯 | 申请(专利权)人: | 天津市环欧半导体材料技术有限公司 |
主分类号: | G01M3/26 | 分类号: | G01M3/26;G01M13/00 |
代理公司: | 天津滨海科纬知识产权代理有限公司 12211 | 代理人: | 杨慧玲 |
地址: | 300384 天津市滨海新区*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 区熔热场 线圈 冷却水 压力 流量 测试 | ||
技术领域
本发明创造涉及一种对区熔热场线圈冷却水进行压力及流量检测的区熔热场线圈测试台。
背景技术
区熔热场线圈需用铜质螺丝固定在区熔炉内的铜轴上,热场线圈安装后,线圈内将流过一定压力及流量的冷却水,所以区熔热场线圈需要保证绝对的密闭性。区熔法拉制单晶时,热场线圈中会通过高功率的射频电流,射频功率激发的电磁场将在多晶柱中引起涡流,产生焦耳热,通过调整线圈功率,可以使得多晶柱紧邻线圈的部分熔化,在由射频功率激发出的电磁场的作用下从线圈的中心孔流下,在线圈下方熔料再结晶为单晶,如果区熔热场线圈产生的磁力线不稳定,将会造成线圈下方的液面严重抖动,影响成晶,所以区熔热场线圈对其冷却水温度,压力,流量都有严格要求,故区熔热场线圈制成后需对成品模拟实际使用情况时冷却水压力及流量进行测试,以避免不合格的热场线圈安装在区熔单晶炉上进行拉晶而造成的不必要的损失。目前国内还没有相关的专用设备进行检测。
发明内容
本发明创造要解决无法检测区熔热场线圈的外观情况而在拉晶过程中造成的不必要的损失,本发明创造提供一种全新的区熔热场线圈冷却水压力及流量测试台,对区熔热场线圈在上炉拉制单晶之前对其进行严格的检测。
为解决上述技术问题,本发明创造采用的技术方案是:区熔热场线圈冷却水压力及流量测试台,包括线圈固定台面、进水管、出水管、第一压力表、第二压力表、流量计、电动水泵、水箱,所述线圈固定台面为矩形板状,其板面设有进水孔、出水孔及用于线圈定位的定位螺丝孔,所述进水管的一端与所述进水孔螺栓连接,其另一端顺次连接所述第一压力表、所述流量计和所述电动水泵,所述出水管的一端与所述出水孔螺栓连接,其另一端顺次连接所述第二压力表和水箱,所述水箱通过所述出水管与所述电动水泵相连,所述进水管和出水管形成循环回路。
进一步,所述定位螺丝孔、所述进水孔和所述出水孔均为两组。
进一步,所述每组中的定位螺丝孔为四个,所述每组中的进水孔和所述出水孔均为一个。
进一步,所述第一压力表、所述流量计、所述电动水泵和所述进水管组成进水管路,所述第二压力表、所述水箱和所述出水管组成出水管路,还包括流量调节阀、安全阀和手阀,所述流量调节阀位于所述流量计和所述电动水泵间的进水管上,所述手阀位于所述第二压力表和所述水箱间的出水管上,所述安全阀位于进水管路和回水管路中间。
进一步,所述安全阀通过管路与进水管和出水管相连,该进水管为所述流量计和所述流量调节阀间的进水管,该出水管为所述第二压力表和所述手阀间的出水管。
进一步,所述线圈固定台面均为不锈钢板。
本发明创造具有的优点和积极效果是:一种区熔热场线圈冷却水压力及流量测试台,模拟线圈在区熔热场炉拉制单晶过程冷却水的压力及流量,并对其进行严格的检测,以避免在使用过程中出现冷却水压力及流量不足、漏水等问题。本发明创造结构简单,操作方便,安装便捷,能及时有效地排除线圈使用过程中的潜在问题。
附图说明
图1是本发明创造工作结构示意图;
图2是线圈固定台面结构示意图。
图中:
1、线圈固定台面 2、进水管3、出水管
4、第一压力表 5、第二压力表6、流量计
7、电动水泵 8、水箱9、进水孔
10、出水孔11、定位螺丝孔 12、流量调节阀
13、安全阀14、手阀
具体实施方式
如图1、2所示,区熔热场线圈冷却水压力及流量测试台,包括线圈固定台面1、进水管2、出水管3、第一压力表4、第二压力表5、流量计6、电动水泵7、水箱8,所述线圈固定台面1为矩形板状,所述线圈固定台面1设有定位螺丝孔11,及设有进水孔9和出水孔10,所述进水管2的一端与所述进水孔9快插连接,其另一端顺次连接所述第一压力表4、所述流量计6和所述电动水泵7,所述出水管3的一端与所述出水孔10快插连接,其另一端顺次连接所述第二压力表5和水箱8,所述水箱8通过所述出水管3与所述电动水泵7相连,所述进水管2和出水管3形成循环回路。
所述定位螺丝孔11、所述进水孔9和所述出水孔10均为两组。所述每组中的定位螺丝孔11为四个,所述每组中的进水孔9和所述出水孔10均为一个。所述定位螺丝孔11、所述进水孔9和所述出水孔10均为两组的目的是为了使测试台能够满足现场生产需要,能达到多套测试系统同时进行的目的,提高生产效率。
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