[实用新型]区熔热场线圈冷却水压力及流量测试台有效
| 申请号： | 201420438606.9 | 申请日： | 2014-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN204008038U | 公开（公告）日： | 2014-12-10 |
| 发明（设计）人： | 姚长娟;靳立辉;刘旭光;王国瑞;于书瀚;贾弘源;王凯 | 申请（专利权）人： | 天津市环欧半导体材料技术有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/26 | 分类号： | G01M3/26;G01M13/00 |
| 代理公司： | 天津滨海科纬知识产权代理有限公司 12211 | 代理人： | 杨慧玲 |
| 地址： | 300384 天津市滨海新区*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 区熔热场 线圈 冷却水 压力 流量 测试 | ||
1.区熔热场线圈冷却水压力及流量测试台，其特征在于：包括线圈固定台面(1)、进水管(2)、出水管(3)、第一压力表(4)、第二压力表(5)、流量计(6)、电动水泵(7)、水箱(8)，所述线圈固定台面(1)为矩形板状，其板面设有进水孔(9)、出水孔(10)、用于线圈定位的定位螺丝孔(11)，所述进水管(2)的一端与所述进水孔(9)连接，其另一端顺次连接所述第一压力表(4)、所述流量计(6)和所述电动水泵(7)，所述出水管(3)的一端与所述出水孔(10)连接，其另一端顺次连接所述第二压力表(5)和水箱(8)，所述水箱(8)通过所述出水管(3)与所述电动水泵(7)相连，所述进水管(2)和出水管(3)形成循环回路。
2.根据权利要求1所述的区熔热场线圈冷却水压力及流量测试台，其特征在于：所述定位螺丝孔(11)、所述进水孔(9)和所述出水孔(10)均为两组。
3.根据权利要求2所述的区熔热场线圈冷却水压力及流量测试台，其特征在于：所述每组中的定位螺丝孔(11)为四个，所述每组中的进水孔(9)和所述出水孔(10)均为一个。
4.根据权利要求1所述的区熔热场线圈冷却水压力及流量测试台，其特征在于：所述第一压力表(4)、所述流量计(6)、所述电动水泵(7)和所述进水管(2)组成进水管路，所述第二压力表(5)、所述水箱(8)和所述出水管(3)组成出水管路，还包括流量调节阀(12)、安全阀(13)和手阀(14)，所述流量调节阀(12)位于所述流量计(6)和所述电动水泵(7)间的进水管(2)上，所述手阀(14)位于所述第二压力表(5)和所述水箱(8)间的出水管(3)上，所述安全阀(13)位于进水管路和回水管路中间。
5.根据权利要求4所述的区熔热场线圈冷却水压力及流量测试台，其特征在于：所述安全阀(13)通过管路与进水管(2)和出水管(3)相连，该进水管(2)为所述流量计(6)和所述流量调节阀(12)间的进水管(2)，该出水管(3)为所述第二压力表(5)和所述手阀(14)间的出水管(3)。
6.根据权利要求1所述的区熔热场线圈冷却水压力及流量测试台，其特征在于：所述线圈固定台面(1)为不锈钢板。
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