[实用新型]直接生长蓝宝石整流罩的设备

权利要求书

1.一种直接生长蓝宝石整流罩的设备，其特征在于：包括机架、炉体、坩埚、以及毛细管导模，所述炉体安装在机架上，坩埚安装在炉体内；在机架的下方设有一旋转组件，所述旋转组件包括固定架、旋转电机以及传动杆，所述传动杆竖直设置，其一端与旋转电机输出轴相连，另一端穿过炉体后与坩埚底部相连，通过该旋转电机能够带动坩埚转动；

在炉体上方设有一支架，在支架上设有一纵向移动机构和横向移动机构，所述横向移动机构与纵向移动机构相连，通过该纵向移动机构能够带动横向移动机构上下移动，在横向移动机构上设有一力矩电机，在力矩电机的输出轴上设有一籽晶杆固定架，通过该力矩电机能够带动籽晶杆固定架旋转；

所述毛细管导模竖直设于炉体内，并通过固定夹具安装于坩埚上，其下端伸入坩埚内，其中，所述毛细管导模的轴心线与传动杆的轴心线之间具有间距；在炉体顶部设有一供籽晶杆穿过的通孔，且籽晶杆能够在该通孔内横向移动。

2.根据权利要求1所述的一种直接生长蓝宝石整流罩的设备，其特征在于：还包括一称重装置，所述称重装置与横向移动机构相连，通过横向移动机构能够带动称重装置横向移动；所述力矩电机安装于该称重装置下方，所述称重装置能够对力矩电机、籽晶杆固定架及安装在籽晶杆固定架上的籽晶杆称重。

3.根据权利要求2所述的一种直接生长蓝宝石整流罩的设备，其特征在于：所述纵向移动机构包括一纵向移动电机和纵向设置于支架上的滑轨，所述纵向移动电机设于支架上方，其输出轴与一纵移丝杆相连，该纵移丝杆从上至下穿过支架；所述横向移动机构包括横向移动电机，该横向移动电机通过一连杆与纵向移动机构相连，其中，所述连杆中部开设有一与纵移丝杆相匹配的螺孔，该连杆的一端与横向移动电机相连，另一端通过一滑块与支架上的滑轨配合相连；

所述横向移动电机的输出轴与一横移丝杆相连，该横移丝杆上套设有一丝杆套筒，所述称重装置与该丝杆套筒相连；通过该横向移动电机能够带动称重装置横向移动。

4.根据权利要求1所述的一种直接生长蓝宝石整流罩的设备，其特征在于：在炉体顶部的通孔处设有动密封结构。

5.根据权利要求1所述的一种直接生长蓝宝石整流罩的设备，其特征在于：所述固定架由一竖杆以及与该竖杆两端相连的横杆构成，在竖杆上沿其长度方向设有一导轨，在固定架的下方设有一纵向位移电机，该纵向位移电机的输出轴与一竖直设置且从下至上穿过固定架的位移丝杆相连；所述旋转电机通过一位移拉杆与固定架相连，其中，所述位移拉杆中部开设有一与位移丝杆相匹配的螺孔，该位移拉杆的一端与旋转电机相连，另一端通过一滑块与固定架上的滑轨配合相连。