[实用新型]直接生长蓝宝石整流罩的设备有效

专利信息
申请号: 201420427928.3 申请日: 2014-07-31
公开(公告)号: CN203960392U 公开(公告)日: 2014-11-26
发明(设计)人: 何晔;佘建军;李金;何根华;陈川贵;刘建军;付昌禄;武欢;李海林;宋晓佳;母江东;邓力;许华胜;王璐 申请(专利权)人: 中国电子科技集团公司第二十六研究所
主分类号: C30B15/34 分类号: C30B15/34;C30B29/20;C30B15/30
代理公司: 重庆博凯知识产权代理有限公司 50212 代理人: 梁展湖;李海华
地址: 400060 *** 国省代码: 重庆;85
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摘要:
搜索关键词: 直接 生长 蓝宝石 整流 设备
【说明书】:

技术领域

实用新型涉及一种整流罩生产技术领域,尤其涉及一种直接生长蓝宝石整流罩的设备。

背景技术

蓝宝石作为光学材料,基于其在0.2-5μm 波段具有良好透光性及其优良的物理、化学、机械性能,使其越来广泛应用于红外军事装备、卫星的窗口材料。与其他同应用材料(MgF2、ZnS 等)相比,蓝宝石有着极高的机械强度、耐热性能好、耐化学腐蚀性好、在较宽波段(可见光、红外、微波)拥有良好的透波能,因此其应用越来越广。特别是近年来导弹技术的飞速发展,蓝宝石作为整流罩和窗口材料的优势体现得愈加明显,也对蓝宝石整流罩的品质要求越来越高,尺寸要求越来越大。但是,由于晶体习性、生长手段、成品率等原因的限制,高品质蓝宝石的生长难度较大,特别体现在大尺寸晶体方面。

目前,主流蓝宝石整流罩的制备流程是先利用不同的晶体生长单晶炉如泡生炉、提拉炉、毛细管导模法生长炉等生长出蓝宝石晶坯,然后将蓝宝石晶坯加工出半球形或锥形等形状的整流罩,这样制备蓝宝石整流罩不仅加工难度极高,加工量极大,坯料的浪费严重,而且成本也很高。所以低成本高质量地生长大尺寸蓝宝石整流罩单晶是当前面临的迫切任务。

实用新型内容

针对现有技术存在的上述不足,本实用新型的目的在于怎样解决现有蓝宝石整流罩加工难度大,加工精确度低,材料浪费多,并且生产成本高的问题,提供一种直接生长蓝宝石整流罩的设备,能够有效降低加工难度,提高生产效率。

为了解决上述技术问题,本实用新型采用的技术方案是这样的:一种直接生长蓝宝石整流罩的设备,其特征在于:包括机架、炉体、坩埚、以及毛细管导模,所述炉体安装在机架上,坩埚安装在炉体内;在机架的下方设有一旋转组件,所述旋转组件包括固定架、旋转电机以及传动杆,所述传动杆竖直设置,其一端与旋转电机输出轴相连,另一端穿过炉体后与坩埚底部相连,通过该旋转电机能够带动坩埚转动;

在炉体上方设有一支架,在支架上设有一纵向移动机构和横向移动机构,所述横向移动机构与纵向移动机构相连,通过该纵向移动机构能够带动横向移动机构上下移动,在横向移动机构上设有一力矩电机,在力矩电机的输出轴上设有一籽晶杆固定架,通过该力矩电机能够带动籽晶杆固定架旋转;

所述毛细管导模竖直设于炉体内,并通过固定夹具安装于坩埚上,其下端伸入坩埚内,其中,所述毛细管导模的轴心线与传动杆的轴心线之间具有间距;在炉体顶部设有一供籽晶杆穿过的通孔,且籽晶杆能够在该通孔内横向移动。

进一步地,还包括一称重装置,所述称重装置与横向移动机构相连,通过横向移动机构能够带动称重装置横向移动;所述力矩电机安装于该称重装置下方,所述称重装置能够对力矩电机、籽晶杆固定架及安装在籽晶杆固定架上的籽晶杆称重。

进一步地,所述纵向移动机构包括一纵向移动电机和纵向设置于支架上的滑轨,所述纵向移动电机设于支架上方,其输出轴与一纵移丝杆相连,该纵移丝杆从上至下穿过支架;所述横向移动机构包括横向移动电机,该横向移动电机通过一连杆与纵向移动机构相连,其中,所述连杆中部开设有一与纵移丝杆相匹配的螺孔,该连杆的一端与横向移动电机相连,另一端通过一滑块与支架上的滑轨配合相连;

所述横向移动电机的输出轴与一横移丝杆相连,该横移丝杆上套设有一丝杆套筒,所述称重装置与该丝杆套筒相连;通过该横向移动电机能够带动称重装置横向移动。

进一步地,在炉体顶部的通孔处设有动密封结构。

进一步地,所述固定架由一竖杆以及与该竖杆两端相连的横杆构成,在竖杆上沿其长度方向设有一导轨,在固定架的下方设有一纵向位移电机,该纵向位移电机的输出轴与一竖直设置且从下至上穿过固定架的位移丝杆相连;所述旋转电机通过一位移拉杆与固定架相连,其中,所述位移拉杆中部开设有一与位移丝杆相匹配的螺孔,该位移拉杆的一端与旋转电机相连,另一端通过一滑块与固定架上的滑轨配合相连。

与现有技术相比,本实用新型具有如下优点:

1、通过纵向移动机构、横向移动机构以及旋转电机的配合,从而直接成型蓝宝石整流罩,从而降低加工难度,使加工更加方便、快捷。

2、整个生产过程采用自动化加工,从而极大的降低了工作量,并且能使加工精度更高,从而减少后续处理工作量,并使成品率更高。

3、整流罩直接成型,能够有效避免采用成型柱状晶体加工产生的浪费,并且通过称重装置对整流罩的重量进行监控,从而能进一步提高整流罩的加工精确度,降低整流罩的生产成本。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

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