[实用新型]电子束蒸镀装置

权利要求书

1.一种电子束蒸镀装置，其形成磁场，并且使被加速后的电子照射而被加热从而蒸发了的材料附着在基板表面，由此形成薄膜，所述磁场对产生的电子向所述基板的入射进行屏蔽，

所述电子束蒸镀装置的特征在于，

使蒸镀材料的收容容器位于进行蒸镀的所述基板的下方，

在比所述收容容器的中心靠向所述基板的中心方向的上方空间，夹着所述收容容器的中心且隔开规定的间隔配置有一对磁体，并且所述一对磁体配置成：各个磁体的基板中心侧的端部比另一个端部向下方倾斜。

2.根据权利要求1所述的电子束蒸镀装置，其特征在于，在所述收容容器的周围设置有接地的电子屏蔽板。

3.根据权利要求1或2所述的电子束蒸镀装置，其特征在于，

所述电子束蒸镀装置包括：

收容容器升降机构，改变从所述基板的蒸镀面到所述收容容器的收容容器高度；

磁体升降机构，改变所述收容容器高度上的所述磁体的倾斜上端的高度；

磁体倾斜变更机构，改变所述磁体的倾斜角度；

磁体间移动机构，改变所述一对磁体的间隔；以及

控制部，基于蒸镀材料种类、基板形状以及由设置在所述基板的转动轨迹的直径相对位置上的电子测量器测量到的电子量，控制所述收容容器升降机构、所述磁体升降机构、所述磁体倾斜变更机构以及所述磁体间移动机构的动作。