[实用新型]一种用于晶圆加热盘的安装和拆卸装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种半导体制程设备，特别是涉及一种用于晶圆加热盘的安装和拆卸装置。

背景技术

在半导体制程工艺中，常常用半导体制程设备中的晶圆加热装置来对晶圆进行加热，而晶圆加热装置中通常包含有用于承载晶圆的晶圆的加热盘，晶圆内置于该加热盘上进行加热。

在对晶圆的加热盘进行安装和拆卸时，由于加热盘是由铝制成，该铝制的加热盘重量达到150千克同时温度较高，并且粘有一定的化学物质，当该加热盘需要从加热装置上拆卸时，目前正常的操作是等待加热盘的温度降低至室温以后，对加热盘进行清洁，之后由四至五人一起将加热盘从加热装置上抬下；该加热盘的安装也同样需要四至五个人共同完成人工安装，对加热盘的拆卸和安装全程需要5个小时左右；并且在安装和拆卸的过程中极有可能发生加热盘坠落从而损坏加热盘；也同时可能发生砸伤操作人员；因此，目前晶圆的加热盘的安装和拆卸具有一定的危险性并同时耗费人力。

因此，有必要提出一种新的用于晶圆加热盘的安装和拆卸装置来避免上述问题的产生，并且来提高生产效率，节约人力成本。

实用新型内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种用于晶圆加热盘的安装和拆卸装置，用于解决现有技术中因加热盘在拆卸和安装的过程中可能发生加热盘坠落和砸伤操作人员的问题，以及用于解决现有技术中安装和拆卸加热盘而耗时耗力的问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种用于晶圆加热盘的安装和拆卸装置，其特征在于，所述装置至少包括：主支架体、位于所述主支架体上的起重装置以及设置于所述起重装置上用于承载加热盘的动臂机构；所述起重装置包括第一底板和通过一旋转轴连接并相对所述第一底板上表面转动的第二底板；通过支柱支撑并固定于所述第二底板上方的第三底板；位于所述第三底板下表面的第一齿轮；所述第一齿轮通过贯穿所述第三底板上的丝杠固定；连接于所述第二、第三底板之间且嵌有轴承的固定板；穿过所述轴承且设有手柄的手柄轴；所述手柄轴套设有与所述第一齿轮啮合的第二齿轮；所述动臂机构包括两根平行的滑轨和分别沿所述滑轨滑动的动臂；所述动臂通过一连接板相互固定；固定于所述两个滑轨之间的起重板；所述起重板设有与所述丝杠匹配的丝杠帽；所述丝杠穿套于所述丝杠帽；所述起重板与所述第三底板通过导向轴固定。

作为本实用新型的用于晶圆加热盘的安装和拆卸装置的一种优选方案，所述主体支架包括由钢管焊接而成的长方体支架以及位于所述长方体支架的四脚之间的铁板；并且该四脚底部分别设有脚轮；该长方体支架的表面设有若干平行钢管。

作为本实用新型的用于晶圆加热盘的安装和拆卸装置的一种优选方案，所述第一至第三底板分别为正方形板，且所述第二和第三底板的水平面投影完全置于所述第一底板；位于所述第二和第三底板之间的支柱有四个，该四个支柱分别位于所述第二和第三底板的四个角。

作为本实用新型的用于晶圆加热盘的安装和拆卸装置的一种优选方案，所述第一齿轮位于所述第三底板下表面的中心位置。

作为本实用新型的用于晶圆加热盘的安装和拆卸装置的一种优选方案，所述导向轴有两个，该两个导向轴位于所述丝杠两侧并与所述丝杠位于同一直线上。

作为本实用新型的用于晶圆加热盘的安装和拆卸装置的一种优选方案，所述第二、第三底板之间的固定板相互平行且分别位于所述第二和第三底板的边缘。

作为本实用新型的用于晶圆加热盘的安装和拆卸装置的一种优选方案，所述第一齿轮与所述第二齿轮为传动比为3:1的伞型齿轮。

作为本实用新型的用于晶圆加热盘的安装和拆卸装置的一种优选方案，所述滑轨内部设有使所述动臂沿所述滑轨滑动的若干辊子。

作为本实用新型的用于晶圆加热盘的安装和拆卸装置的一种优选方案，所述动臂上各自设有两个用于夹持所述加热盘的定位块。

作为本实用新型的用于晶圆加热盘的安装和拆卸装置的一种优选方案，所述每个动臂上各设有一个限位导轨；所述限位导轨位于所述连接板与所述定位块之间。

如上所述，本实用新型的用于晶圆加热盘的安装和拆卸装置，具有以下有益效果：使用本实用新型的所述加热盘的安装和拆卸装置可以大大提高作业的安全性和劳动效率，同时降低因人工搬运导致加热盘损坏的风险，达到省时省力的效果。

附图说明

图1为本实用新型的用于晶圆加热盘的安装和拆卸装置示意图。

图2为本实用新型的主支架体的结构示意图。

图3为本实用新型的起重装置结构示意图。