[实用新型]一种用于晶圆加热盘的安装和拆卸装置

权利要求书

1.一种用于晶圆加热盘的安装和拆卸装置，其特征在于，所述装置至少包括：

主支架体、位于所述主支架体上的起重装置以及设置于所述起重装置上用于承载加热盘的动臂机构；

所述起重装置包括第一底板和通过一旋转轴连接并相对所述第一底板上表面转动的第二底板；通过支柱支撑并固定于所述第二底板上方的第三底板；位于所述第三底板下表面的第一齿轮；所述第一齿轮通过贯穿所述第三底板上的丝杠固定；连接于所述第二、第三底板之间且嵌有轴承的固定板；穿过所述轴承且设有手柄的手柄轴；所述手柄轴套设有与所述第一齿轮啮合的第二齿轮；

所述动臂机构包括两根平行的滑轨和分别沿所述滑轨滑动的动臂；所述动臂通过一连接板相互固定；

固定于所述两个滑轨之间的起重板；所述起重板设有与所述丝杠匹配的丝杠帽；所述丝杠穿套于所述丝杠帽；所述起重板与所述第三底板通过导向轴固定。

2.根据权利要求1所述的用于晶圆加热盘的安装和拆卸装置，其特征在于：所述主体支架包括由钢管焊接而成的长方体支架以及位于所述长方体支架的四脚之间的铁板；并且该四脚底部分别设有脚轮；该长方体支架的表面设有若干平行钢管。

3.根据权利要求1所述的用于晶圆加热盘的安装和拆卸装置，其特征在于：所述第一至第三底板分别为正方形板，且所述第二和第三底板的水平面投影完全置于所述第一底板；位于所述第二和第三底板之间的支柱有四个，该四个支柱分别位于所述第二和第三底板的四个角。

4.根据权利要求3所述的用于晶圆加热盘的安装和拆卸装置，其特征在于：所述第一齿轮位于所述第三底板下表面的中心位置。

5.根据权利要求1或4所述的用于晶圆加热盘的安装和拆卸装置，其特征在于：所述导向轴有两个，该两个导向轴位于所述丝杠两侧并与所述丝杠位于同一直线上。

6.根据权利要求3所述的用于晶圆加热盘的安装和拆卸装置，其特征在于：所述第二、第三底板之间的固定板相互平行且分别位于所述第二和第三底板的边缘。

7.根据权利要求1所述的用于晶圆加热盘的安装和拆卸装置，其特征在于：所述第一齿轮与所述第二齿轮为传动比为3:1的伞型齿轮。

8.根据权利要求1所述的用于晶圆加热盘的安装和拆卸装置，其特征在于：所述滑轨内部设有使所述动臂沿所述滑轨滑动的若干辊子。

9.根据权利要求1所述的用于晶圆加热盘的安装和拆卸装置，其特征在于：所述动臂上各自设有两个用于夹持所述加热盘的定位块。

10.根据权利要求9所述的用于晶圆加热盘的安装和拆卸装置，其特征在于：所述每个动臂上各设有一个限位导轨；所述限位导轨位于所述连接板与所述定位块之间。