[实用新型]一种晶元裸视检测装置有效
申请号: | 201420402896.1 | 申请日: | 2014-07-21 |
公开(公告)号: | CN203941114U | 公开(公告)日: | 2014-11-12 |
发明(设计)人: | 杨军 | 申请(专利权)人: | 京隆科技(苏州)有限公司 |
主分类号: | G01N21/95 | 分类号: | G01N21/95;H01L21/66 |
代理公司: | 北京华夏博通专利事务所(普通合伙) 11264 | 代理人: | 刘俊 |
地址: | 215000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 晶元裸视 检测 装置 | ||
1.一种晶元裸视检测装置,其设置于用于检测晶元的工作桌上,所述工作桌上设有一用于承载所述晶元的承载机构,所述晶元放置于所述承载机构上,其特征在于,该晶元裸视检测装置包括一内部黑暗的暗室和上照式的冷白色的LED光源,所述暗室架设于所述工作桌上,并将所述承载机构圈设于其中,所述暗室的一面开设有一容许检测人员检测的开口,所述LED光源设置于所述暗室内的上端部。
2.根据权利要求1所述的一种晶元裸视检测装置,其特征在于,所述暗室包括一顶盖和四块相互围接的侧板,其中一块所述侧板上开设有所述开口,且所述LED光源设置于所述顶盖的下方。
3.根据权利要求2所述的一种晶元裸视检测装置,其特征在于,所述暗室的顶盖和侧板为黑色的抗静电瓦楞板。
4.根据权利要求1所述的一种晶元裸视检测装置,其特征在于,所述LED光源为亮度可调式的环形灯,其照度为200-900LUX,色温为6000K-7000K。
5.根据权利要求1所述的一种晶元裸视检测装置,其特征在于,所述承载机构包括一中空吸座以及设置于所述中空吸座上的旋转台,所述晶元放置于所述旋转台上。
6.根据权利要求1所述的一种晶元裸视检测装置,其特征在于,该晶元裸视检测装置还包括风扇模块,所述风扇模块设于所述暗室的上方,其包括一箱体以及设于所述箱体内的风扇,所述箱体上开设有出风通道,所述出风通道与所述暗室的内部连通,并将风扇形成的气流导入至所述暗室内。
7.根据权利要求6所述的一种晶元裸视检测装置,其特征在于,所述出风通道为一出风口,所述出风口开设于所述箱体的一端,并位于所述暗室的开口的上方与所述暗室的内部连通。
8.根据权利要求6所述的一种晶元裸视检测装置,其特征在于,所述出风通道为作为所述箱体底板的过滤网,所述过滤网上开设有若干个过滤孔,并与所述暗室的内部连通。
9.根据权利要求8所述的一种晶元裸视检测装置,其特征在于,所述工作桌的桌面板上开设有若干个开孔。
10.根据权利要求1-9中任一项所述的一种晶元裸视检测装置,其特征在于,所述暗室的内部上方或所述工作桌的桌面上装设有至少一个离子消除模块。
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