[实用新型]一种半导体元件检测机的视觉系统改良结构有效
申请号: | 201420402818.1 | 申请日: | 2014-07-21 |
公开(公告)号: | CN203941885U | 公开(公告)日: | 2014-11-12 |
发明(设计)人: | 陆林 | 申请(专利权)人: | 京隆科技(苏州)有限公司 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66 |
代理公司: | 北京华夏博通专利事务所(普通合伙) 11264 | 代理人: | 刘俊 |
地址: | 215000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 半导体 元件 检测 视觉 系统 改良 结构 | ||
1.一种半导体元件检测机的视觉系统改良结构,包括一相机镜头,光源由光纤接口进入所述相机镜头的光源通光孔,再经由平面镜90度偏折反射后,从光源出口处照射在半导体元件上,其特征在于,该视觉系统改良结构还包括一高度调节机构,所述高度调节机构包括一固设于机台本体上的固定件和与所述固定件相对而设并能够沿所述固定件滑移的滑移件,所述相机镜头固设于所述滑移件上,所述相机镜头的光源通光孔处设有一聚焦镜片,光源在进入所述光源通光孔后经所述聚焦镜片聚焦汇集,再经由所述平面镜90度偏折反射后,从所述光源出口处照射在所述半导体元件上。
2.根据权利要求1所述的一种半导体元件检测机的视觉系统改良结构,其特征在于,所述聚焦镜片为一凹凸镜。
3.根据权利要求1所述的一种半导体元件检测机的视觉系统改良结构,其特征在于,所述固定件包括第一固定块和第一滑轨,所述第一固定块的一侧通过第一锁固件固定于所述机台本体上,所述第一固定块的另一侧固连所述第一滑轨,所述滑移件包括第一滑移块,所述第一滑移块与所述固定件相对的一侧设有与所述第一滑轨相匹配的第一燕尾滑槽和复数个螺孔,所述第一滑移块通过穿设于所述螺孔中的第二锁固件抵触所述第一固定块而紧密贴于所述第一固定块,所述第一滑移块的另一侧固连所述相机镜头。
4.根据权利要求3所述的一种半导体元件检测机的视觉系统改良结构,其特征在于,所述第一滑移块的另一侧具有一对第一夹持部,所述相机镜头夹设于该些第一夹持部之间,并通过穿设于所述第一夹持部上的第三锁固件固定于所述第一夹持部上。
5.根据权利要求1所述的一种半导体元件检测机的视觉系统改良结构,其特征在于,所述固定件包括第二固定块和第二滑轨,所述第二固定块的一侧固定于所述机台本体上,所述第二固定块的另一侧固连所述第二滑轨,所述滑移件包括第二滑移块、固定基座、连接块和调节螺杆,所述第二滑移块与所述固定件相对的一侧设有与所述第二滑轨相匹配的第二燕尾滑槽,所述第二滑移块的另一侧具有一对第二夹持部,所述相机镜头夹设于该些第二夹持部之间,所述固定基座连接所述机台本体,所述连接块连接所述第二滑移块,所述调节螺杆穿设于所述连接块与固定基座中,且其上端设有一把手。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造