[实用新型]静电检测结构

权利要求书

1.一种静电检测结构，用于检测晶圆表面电荷，其特征在于，包括：基底、形成于所述基底上的第一金属块以及形成于所述基底上并位于所述第一金属块一侧的多个间隔分布的第二金属块，所述第一金属块与多个第二金属块距离基底的高度相同；所述多个第二金属块与第一金属块之间的间距不等；所述第一金属块通过互连线与基底电性相通。

2.如权利要求1所述的静电检测结构，其特征在于，所述第二金属块为矩形，长度为l，宽度为w，且w>2l。

3.如权利要求2所述的静电检测结构，其特征在于，所述第一金属块和第二金属块的厚度h相同。

4.如权利要求3所述的静电检测结构，其特征在于，所述多个第二金属块到第一金属块之间的距离呈等差分布，最小的距离为d0，d0<sqr(h×l)。

5.如权利要求1-4中任意一项所述的静电检测结构，其特征在于，所述静电检测结构还包括置于第二金属块一侧的标尺。

6.如权利要求1所述的静电检测结构，其特征在于，所述基底、第一金属块、多个第二金属块及互连线之间填充有介电层。