[实用新型]一种用于立式真空镀膜装置的进片预抽室有效
| 申请号： | 201420361167.6 | 申请日： | 2014-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN203976907U | 公开（公告）日： | 2014-12-03 |
| 发明（设计）人： | 苏贵方 | 申请（专利权）人： | 肇庆市大力真空设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 裘晖 |
| 地址： | 526060 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 立式 真空镀膜 装置 进片预抽室 | ||
1.一种用于立式真空镀膜装置的进片预抽室，所述进片预抽室内设有输送机构，其特征在于：所述输送机构包括主动带轮、主动轴、从动带轮、从动轴、输送带、可调节高度的第一安装座和可调节高度的第二安装座，所述主动带轮通过主动轴安装于第一安装座，所述从动带轮通过从动轴安装于第二安装座，所述第一安装座和第二安装座分别固定于进片预抽室的两端；所述输送带的两端分别与主动带轮和从动带轮连接。
2.根据权利要求1所述的用于立式真空镀膜装置的进片预抽室，其特征在于：所述第一安装座包括2个可调节高度的第一支撑单元，2个所述第一支撑单元分别位于主动带轮的两侧，所述主动带轮安装于主动轴的中部，所述主动轴的两端分别安装于2个第一支撑单元。
3.根据权利要求2所述的用于立式真空镀膜装置的进片预抽室，其特征在于：所述第一支撑单元包括第一轴承座、第一调节板和2条第一调节杆，所述第一轴承座固定于第一调节板的上面中间，所述第一调节杆的下端固定于进片预抽室的内底面，且2条第一调节杆分别位于主动轴的两侧，所述第一调节板的两端分别套接于2条第一调节杆，每条第一调节杆设置有2个第一调节螺母，2个所述第一调节螺母夹持第一调节板。
4.根据权利要求3所述的用于立式真空镀膜装置的进片预抽室，其特征在于：所述第二安装座包括2个可调节高度的第二支撑单元，2个所述第二支撑单元分别位于从动带轮的两侧，所述从动带轮安装于从动轴的中部，所述从动轴的两端分别安装于2个第二支撑单元。
5.根据权利要求4所述的用于立式真空镀膜装置的进片预抽室，其特征在于：所述第二支撑单元包括第二轴承座、第二调节板和2条第二调节杆，所述第二轴承座固定于第二调节板的上面中间，所述第二调节杆的下端固定于进片预抽室的内底面，且2条第二调节杆分别位于从动轴的两侧，所述第二调节板的两端分别套接于2条第二调节杆，每条第二调节杆设置有2个第二调节螺母，2个所述第二调节螺母夹持第二调节板。
6.根据权利要求5所述的用于立式真空镀膜装置的进片预抽室，其特征在于：所述第一调节板和第二调节板的下面均设有加强筋。
7.根据权利要求5所述的用于立式真空镀膜装置的进片预抽室，其特征在于：所述主动轴的一端和从动轴的两端均设有挡圈。
8.根据权利要求1所述的用于立式真空镀膜装置的进片预抽室，其特征在于：还包括支承板，所述支承板的两侧分别固定于进片预抽室，且所述支承板的上面顶着输送带的送料部在的下面。
9.根据权利要求8所述的用于立式真空镀膜装置的进片预抽室，其特征在于：所述支承板的宽度大于输送带的宽度。
10.根据权利要求1所述的用于立式真空镀膜装置的进片预抽室，其特征在于：所述第一安装座固定于进片预抽室的出料端，所述第二安装座固定于进片预抽室的进料端。
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