[实用新型]一种用于立式真空镀膜装置的工件架有效
| 申请号： | 201420356740.4 | 申请日： | 2014-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN203976902U | 公开（公告）日： | 2014-12-03 |
| 发明（设计）人： | 苏贵方 | 申请（专利权）人： | 肇庆市大力真空设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/00;C03C17/00 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 裘晖 |
| 地址： | 526060 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 立式 真空镀膜 装置 工件 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于立式真空镀膜装置的工件架，包括底板和靠板，其特征在于：所述靠板的下端可拆装连接于底板上面的中部，所述靠板的两侧面设为倾斜面，所述倾斜面与靠板底面的夹角a的大小为4°～10°，所述底板上面两侧设有卡槽或止档块。
2.根据权利要求1所述的用于立式真空镀膜装置的工件架，其特征在于：所述倾斜面与靠板底面的夹角a的大小为5°。
3.根据权利要求1所述的用于立式真空镀膜装置的工件架，其特征在于：所述靠板的上端面设有压紧块。
4.根据权利要求1所述的用于立式真空镀膜装置的工件架，其特征在于：所述底板的下端面设有磨砂面。
5.根据权利要求1所述的用于立式真空镀膜装置的工件架，其特征在于：所述靠板的下端两侧设有法兰，所述法兰通过螺栓安装于底板上面。
6.根据权利要求1所述的用于立式真空镀膜装置的工件架，其特征在于：所述靠板的下端充有方形的连接部，所述底板的上端中部设有安装槽，所述连接部通过过盈配合安装于安装槽内。
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