[实用新型]一种多层膜层的中性灰度减光滤镜及其制造装置

权利要求书

1.一种多层膜层的中性灰度减光滤镜，其包括基片，其特征在于，所述基片上镀有若干层膜层，所述膜层包括层叠的减反射膜和金属膜，相邻的两个所述金属膜之间设有至少一层所述减反射膜，所述减反射膜的构成材料的折射率大于1.30。 

2.如权利要求1所述的多层膜层的中性灰度减光滤镜，其特征在于，所述金属膜的构成材料包括至少一种选自Al、Ag、Cr、Ni、Au、Cu、Fe、Zn、Sn、Mo的金属单质或由上述金属单质构成的合金。 

3.如权利要求1所述的多层膜层的中性灰度减光滤镜，其特征在于，所述基片上镀有至少两层所述膜层。 

4.如权利要求1或2所述的多层膜层的中性灰度减光滤镜，其特征在于，所述减反射膜的膜层光学厚度的范围是1～300nm，所述金属膜的膜层光学厚度的范围是1～320nm。 

5.如权利要求1所述的多层膜层的中性灰度减光滤镜，其特征在于，在波长420～680nm的区间内，反射率的范围是1.50％～2.30％，透过率的范围是47.8％～51.3％。 

6.如权利要求1所述的多层膜层的中性灰度减光滤镜，其特征在于，在波长420～680nm的区间内，衰减最大端的反射率的范围是2.5％～3.1％，透过率的范围是11.45％～12.06％，衰减最小端的反射率的范围是1.5％～2.3％，透过率的范围是47.8％～96.3％。 

7.如权利要求1所述的多层膜层的中性灰度减光滤镜的制造装置，其包括：真空室，镀膜伞和动力源，所述镀膜伞固定在所述真空室的腔体顶部，所述镀膜伞的旋转轴连接所述动力源，其特征在于： 

所述真空室的腔体底部设有两个对称分布的镀膜材源，两个所述镀膜材源位于所述镀膜伞下方； 

修正板固定在所述真空室内，一端位于两个所述镀膜材源同一侧。 

8.如权利要求7所述的多层膜层的中性灰度减光滤镜的制造装置，其特征在于，还包括挡板，所述挡板上设有多个对称分布的渐变孔，所述渐变孔的截面为叶片形。