[实用新型]一种多层膜层的中性灰度减光滤镜及其制造装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种中性灰度减光滤镜，具体地说，涉及多层膜层的中灰定值减光滤镜和中灰渐变减光滤镜及其制造装置。 

背景技术

中性灰度滤镜是对光线进行平衡衰减的能量分光元件，其主要用于摄影摄像时过滤光线，具有结构简单，使用波长范围广等优点。中性灰度滤镜包括中灰定值减光滤镜(Neutral Density Filter，简称ND镜)和中灰渐变减光滤镜(Graduated Neutral Density Filter，简称GND镜)。 

ND镜主要是用来降低相机曝光量，当被摄物体光线较亮时，需要用ND镜来降低曝光量。ND镜滤对光作用是非选择性的，ND镜对各种不同波长的光线的减少能力是同等的、均匀的，只起到减弱光线的作用，而对原物体的颜色不会产生任何影响，其光密度不随位置变化，整体零件是均匀一致的。GND镜的光密度随着位置发生变化，有着不同的暗度变化，即不同的光密度。GND镜不会改变画面的色彩平衡，但可以改变感光的反差。例如，遇到光线差很大的情况时，如果光线强一侧曝光准确，光线弱一侧则曝光不足；如果光线弱一侧曝光准确，则光线强一侧曝光过度。在镜头前加上GND镜就可以解决该问题。 

在生产ND镜或GND镜时，由于树脂片或胶层的变形会影响成像质量，或是因高反射率导致使用过程中产生鬼影等现象。以制作GND镜为例，包括以下四种制作方式。图1是现有技术中采用树脂染色、玻璃夹胶和中灰玻璃胶合方法制造的GND镜的透光率光谱曲线的示意图。如图1所示，曲线1代表树脂染色方法制造的GND镜的透光率光谱曲线，树脂染色由于染色过程中需要在高温液体中泡煮和树脂镜片本身容易变形，导致树脂片产生形变，从而影响摄影摄像的成像质量难以达到高清效果。同时因为染料的色散问题，导致不能对光线进行平衡衰减。从图谱可以看出，从波长650nm开始，透过率发生了明显升高，这也是摄影中产生偏红的主要原因。曲线2代表玻璃夹胶方法制造的GND镜的透光率光谱曲线，玻璃夹胶片是由2片玻璃中间夹一片染色片组成，在具有树脂染色的上述缺点外，还增加一个厚度大的缺点。曲线3代表中灰玻璃胶合方 法制造的GND镜的透光率光谱曲线，中灰玻璃和无色透明玻璃胶合后，斜着研磨，使中灰玻璃产生厚薄变化来实现平衡衰减作用。由于胶层导致产生形变，影响摄影摄像的成像质量且不能实现高透过区域的真正高透过率和不能对光线真正平衡衰减。图2a是现有技术中采用真空中性金属膜方法制造的GND镜的透光率光谱曲线的示意图。图2b是现有技术中采用真空中性金属膜方法制造的GND镜的反射率光谱曲线的示意图。如图2a所示，曲线1代表透过率光谱曲线，如图2b所示，曲线1代表反射率光谱曲线，真空中性金属膜工艺虽然较好的解决了影响成像质量的问题且有较理想的对光线平衡衰减功能。但是却因为有较高的反射率，导致使用过程中易产生鬼影等现象。 

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种多层膜层的中性灰度减光滤镜及其制造装置，可以制造出对光线平衡衰减效果好且具有低反射率的ND镜和GND镜，同时制作过程不会影响成像质量。 

为实现上述目的，本实用新型提供一种多层膜层的中性灰度减光滤镜及其制造装置，其包括基片，所述基片上镀有若干层膜层，所述膜层包括层叠的减反射膜和金属膜，所述减反射膜的构成材料的折射率大于1.30。 

优选地，所述金属膜的构成材料包括至少一种选自Al、Ag、Cr、Ni、Au、Cu、Fe、Zn、Sn、Mo的金属单质或由上述金属单质构成的合金。 

优选地，所述基片上镀有至少两层所述膜层。 

优选地，所述减反射膜的膜层光学厚度的范围是1～300nm，所述金属膜的膜层光学厚度的范围是1～320nm。 

优选地，在波长420～680nm的区间内，反射率的范围是1.50％～2.30％，透过率的范围是47.8％～51.3％。 

优选地，在波长420～680nm的区间内，衰减最大端的反射率的范围是2.5％～3.1％，透过率的范围是11.45％～12.06％，衰减最小端的反射率的范围是1.5％～2.3％，透过率的范围是47.8％～96.3％。 

优选地，多层膜层的中性灰度减光滤镜的制造装置，其包括：真空室，镀膜伞和动力源，所述镀膜伞固定在所述真空室的腔体顶部，所述镀膜伞的旋转轴连接所述动力源，所述真空室的腔体底部设有两个对称分布的镀膜材源，两 个所述镀膜材源位于所述镀膜伞下方；修正板固定在所述真空室内，一端位于两个所述镀膜材源同一侧。