[实用新型]液态氯硅烷在线检测样品处理装置

说明书

技术领域

本实用新型属于在线分析领域，具体涉及液态氯硅烷在线检测样品处理装置。

背景技术

目前，国内对于液态氯硅烷的检测均采取离线取样的方式进行，存在取样危险性高，物料浪费大，低沸点组份易挥发，数据准确性根本得不到保证，特别是二氯二氢硅等低沸点组份含量较高时，易发生着火，离线无法取样检测。

国内也有个别厂家采用在线色谱进行分析，采用液态进样阀进行进样检测，但由于液态氯硅烷中含有少量的氮气或氢气，以气泡形式存在，造成进样量偏差较大，检测结果重复性较差，准确性不高；另由于氯硅烷易水解，过滤器易堵塞，更换频繁，损耗量大；液态氯硅烷汽化不充分，存在气液两相，影响分析结果。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供液态氯硅烷在线检测样品处理装置，能够长期、连续、稳定运行，确保液态氯硅烷完全汽化，达到在线分析仪表对样品的要求，并得到准确可靠地分析数据。

为达到上述目的，本实用新型的技术方案如下：

液态氯硅烷在线检测样品处理装置，包括：

一封闭箱体，

一设置于封闭箱体外部的取样装置，所述取样装置一路连接下游物料管线，另一路通过管线连接蒸汽气化装置，

一设置于封闭箱体内部的蒸汽气化装置，快速回路装置以及进色谱装置，

所述蒸汽汽化装置连接的蒸汽一部分进入蒸汽散热片对封闭箱体进行加热，另一部分通过蒸汽汽化减压阀进入样品通过路径上进行加热汽化；

所述快速回路装置包括三通过滤器，所述三通过滤器第一端连接蒸汽气化装置，三通过滤器第二端连接进色谱装置，三通过滤器第三端连接氮气吹扫装置；

所述进色谱装置包括标气三通切换阀，所述标气三通切换阀第一端连接快速回路装置，标气三通切换阀第二端将汽化的样品送至进入色谱，经进样阀后返回至快速回路装置；

还包括一氮气吹扫装置，该氮气吹扫装置设置于封闭箱体内，并与快速回路装置连接，其始终对快速回路装置的排放管线进行吹扫，实现对系统的氮气吹扫和氮气保护，有效防止由于外部环境温度降低以及管道背压而导致氯硅烷回流。

在本实用新型的一个优选实施例中，还包括标液装置，所述标液装置通过管线连接蒸汽汽化减压阀，并经蒸汽汽化减压阀汽化后实现对色谱标液标定。

在本实用新型的一个优选实施例中，还包括标气装置，所述标气装置经标气三通切换阀后进入色谱，实现对色谱的标气标定。

在本实用新型的一个优选实施例中，所述取样装置包括一自清洗式过滤器，一连接自清洗式过滤器第一端的第一两通球阀，一连接自清洗式过滤器第二端的第一针阀和第一止回阀，以及一连接自清洗式过滤器第三端的第二两通球阀。

所述第一两通球阀连接进料口，第一止回阀连接下游物料管线，所述第二两通球阀通过第一接口连接蒸汽气化装置。

在本实用新型的一个优选实施例中，所述蒸汽气化装置包括一控制蒸汽流量的第三针阀，一与第三针阀连接的散热片和蒸汽式汽化减压阀。

在本实用新型的一个优选实施例中，所述封闭箱体为保温层厚度为60mm的箱体，且在封闭箱体上设置一用于观察封闭箱体温度的温度计，第三针阀用于调节蒸汽大小，以保证封闭箱体温度达到要求。

在本实用新型的一个优选实施例中，还包括有安全阀以及与安全阀配合使用的废气管线装置，样品压力超过安全阀整定压力时，安全阀起跳，样品进入废气管线装置处理。

通过上述技术方案，本实用新型的有益效果是：

1、取样部分采用过滤精度为0.5μm自清洗式过滤器，通过物料本身对过滤器进行冲刷，保证过滤器连续、稳定运行，极大地降低了过滤器维护频次；另外，样品未经过污染及减压操作，直接排入下游物料管线，极大地减少了物料的浪费。

2、蒸汽汽化减压阀、蒸汽散热片、保温厚度为60mm的箱体保证液态氯硅烷完全汽化。

3、样品排放管路的氮气吹扫以及止回阀设计可以有效防止样品由于外部环境温度降低以及管道背压而导致样品回流。

4、安全阀可以确保在系统压力较大时，能够及时将样品排入排放管线，确保装置稳定、安全运行。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型的结构示意图。

具体实施方式