[实用新型]液态氯硅烷在线检测样品处理装置

权利要求书

1.液态氯硅烷在线检测样品处理装置，其特征在于，包括：

一封闭箱体，

一设置于封闭箱体外部的取样装置，所述取样装置一路连接下游物料管线，另一路通过管线连接蒸汽气化装置，

一设置于封闭箱体内部的蒸汽气化装置，快速回路装置以及进色谱装置，

所述蒸汽汽化装置连接的蒸汽一部分进入蒸汽散热片对封闭箱体进行加热，另一部分通过蒸汽汽化减压阀对样品进行加热汽化；

所述快速回路装置包括三通过滤器，所述三通过滤器第一端连接蒸汽气化装置，三通过滤器第二端连接进色谱装置，三通过滤器第三端连接氮气吹扫装置；

所述进色谱装置包括标气三通切换阀，所述标气三通切换阀第一端连接快速回路装置，标气三通切换阀第二端将汽化的样品送至进入色谱后，经色谱进样阀后进入快速回路装置；

还包括一氮气吹扫装置，该氮气吹扫装置设置于封闭箱体内，并与快速回路装置连接，其始终对快速回路装置的排放管线进行吹扫，实现对系统的氮气吹扫和氮气保护，有效防止由于外部环境温度降低以及管道背压而导致氯硅烷回流。

2.根据权利要求1所述的液态氯硅烷在线检测样品处理装置，其特征在于，还包括标液装置，所述标液装置通过管线连接蒸汽汽化减压阀，并经蒸汽汽化减压阀汽化后实现对色谱标液标定。

3.根据权利要求1所述的液态氯硅烷在线检测样品处理装置，其特征在于，还包括标气装置，所述标气装置经标气三通切换阀后进入色谱，实现对色谱的标气标定。

4.根据权利要求1所述的液态氯硅烷在线检测样品处理装置，其特征在于，所述取样装置包括一自清洗式过滤器，一连接自清洗式过滤器第一端的第一两通球阀，一连接自清洗式过滤器第二端的第一针阀和第一止回阀，以及一连接自清洗式过滤器第三端的第二两通球阀，

所述第一两通球阀连接进料口，第一止回阀连接下游物料管线，所述第二两通球阀通过第一接口连接蒸汽气化装置。

5.根据权利要求1所述的液态氯硅烷在线检测样品处理装置，其特征在于，所述蒸汽气化装置包括一控制蒸汽流量的第三针阀，一与第三针阀连接的散热片和蒸汽式汽化减压阀。

6.根据权利要求1所述的液态氯硅烷在线检测样品处理装置，其特征在于，所述封闭箱体为保温层厚度为60mm的箱体，且在封闭箱体上设置一用于观察封闭箱体温度的温度计，第三针阀用于调节蒸汽大小，以保证封闭箱体温度达到要求。

7.根据权利要求1所述的液态氯硅烷在线检测样品处理装置，其特征在于，还包括有安全阀以及与安全阀配合使用的废气管线装置，样品压力超过安全阀整定压力时，安全阀起跳，样品进入废气管线装置处理。