[实用新型]一种气缸泄露监控系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种半导体设备，特别是涉及一种气缸泄露监控系统。

背景技术

气缸的应用领域广泛，是机械运动的重要组成部分，是一种活塞在缸体中进行直线往复运动的金属机件，气缸通常需要通过通气管路连接至电磁阀，通过电磁阀来协助气缸正常运作。如图1所示，气缸1包括缸筒11、活塞12以及活塞杆13。所述气缸1通过通气管路连接至电磁阀2，通气管路分别连接于所述缸筒11的两端。所述电磁阀2由电磁部件、阀体组成。所述缸筒11内部被活塞12分成两个腔室，有活塞杆13的腔室称为有杆腔，无活塞杆13的腔室称为无杆腔。当从无杆腔输入压缩空气时，有杆腔排气，气缸两腔的压力差作用在活塞上所形成的力克服阻力负载推动活塞运动，使活塞杆伸出；当有杆腔进气，无杆腔排气时，使活塞杆缩回。若有杆腔和无杆腔交替进气和排气，活塞实现往复直线运动。工作台与气缸1的活塞杆13相连，以此带动工作台运动。

一旦气缸受损、电磁阀故障或者通气管路泄漏都将使缸筒内的气压不稳定，进而给气缸及工作台的正常运作带来很大的安全隐患，给半导体生产带来损失。以下是气缸泄露导致的气缸非正常工作引起的生产事故：

1、2009年10月4日，中芯国际BEWCR04由于气缸的通气管路泄露发生左/右移动误差，导致25片晶圆从滑块式传送机上掉落，25片晶圆全部报废。

2、2010年4月25日，中芯国际BDWOX02由于通气管路破裂发生上/下移动误差，导致暗盒位置放置错误。

3、2010年5月27日，中芯国际BEWCR12由于气缸通气发生中心升降机左/右移动误差，导致25片晶圆从传送机上掉落，共11片晶圆报废。

以上事故都是由于气缸气体泄露导致的，因此如何做好气缸气体泄露的日常监控，实时控制气缸、通气管路及电磁阀的工作状态，确保气缸平稳工作是本领域的技术人员亟待解决的问题。

实用新型内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种气缸泄露监控系统，用于解决现有技术中气缸泄露引起的半导体生产损失问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种气缸泄露监控系统，所述气缸泄露监控系统至少包括：

气缸、第一通气管路、第二通气管路、第一压力检测表、第二压力检测表、控制单元、第一驱动、第二驱动、第一马达、第二马达、第一阀门、第二阀门以及第三阀门；

所述第一通气管路及所述第二通气管路分别连接于所述气缸及所述第三阀门之间；

所述第一压力检测表及所述第二压力检测表分别连接于所述第一通气管路及所述第二通气管路；

所述控制单元连接于所述第一压力检测表及所述第二压力检测表；

所述第一驱动及所述第二驱动连接于所述控制单元；

所述第一马达及所述第二马达分别连接于所述第一驱动及所述第二驱动，并分别输出控制信号至所述第一阀门及所述第二阀门；

所述第一阀门及所述第二阀门分别串接于所述第一通气管路及第二通气管路上。

优选地，所述气缸为双作用气缸。

优选地，所述气缸的两端连接有第一传感器及第二传感器，用于侦测所述气缸中的活塞是否到位。

更优选地，所述控制单元还连接于所述第一传感器及所述第二传感器的输出端。

优选地，所述第一通气管路及所述第二通气管路分别连接于所述气缸的两端。

优选地，所述第一阀门及所述第二阀门为针型阀。

优选地，所述第三阀门为电磁阀。

更优选地，所述电磁阀连接于所述第一传感器及所述第二传感器的输出端。

优选地，所述第一压力检测表及所述第二压力检测表上设置有预设的压力值，当检测到的压力值低于预设压力值时，所述第一压力检测表或所述第二压力检测表输出控制信号。

优选地，所述控制单元还连接于第一报警装置及第二报警装置。

如上所述，本实用新型的气缸泄露监控系统，具有以下有益效果：

本实用新型的气缸泄露监控系统通过在气缸和电磁阀之间增加监控系统，对气缸两端气压进行检测，当气压低于预设压力值时通过控制系统将通气管路上的针型阀关小，以达到减速的作用，同时发出报警信号，进而防止气缸泄露导致的工作台运行不稳定，以此减小半导体生产中的损失。

附图说明

图1显示为现有技术中的气缸系统示意图。

图2显示为本实用新型的气缸系统示意图。

图3显示为本实用新型的气缸系统中第一传感器输出的第一控制信号的波形示意图。