[实用新型]一种气缸泄露监控系统有效
| 申请号： | 201420296424.2 | 申请日： | 2014-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN203906449U | 公开（公告）日： | 2014-10-29 |
| 发明（设计）人： | 喻畅;钱文明;周鸿飞;张杰;董明 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | F15B19/00 | 分类号： | F15B19/00 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人： | 李仪萍 |
| 地址： | 100176 北京市大兴*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 气缸 泄露 监控 系统 | ||
1.一种气缸泄露监控系统，其特征在于，所述气缸泄露监控系统至少包括：
气缸、第一通气管路、第二通气管路、第一压力检测表、第二压力检测表、控制单元、第一驱动、第二驱动、第一马达、第二马达、第一阀门、第二阀门以及第三阀门；
所述第一通气管路及所述第二通气管路分别连接于所述气缸及所述第三阀门之间；
所述第一压力检测表及所述第二压力检测表分别连接于所述第一通气管路及所述第二通气管路；
所述控制单元连接于所述第一压力检测表及所述第二压力检测表；
所述第一驱动及所述第二驱动连接于所述控制单元；
所述第一马达及所述第二马达分别连接于所述第一驱动及所述第二驱动，并分别输出控制信号至所述第一阀门及所述第二阀门；
所述第一阀门及所述第二阀门分别串接于所述第一通气管路及第二通气管路上。
2.根据权利要求1所述的气缸泄露监控系统，其特征在于：所述气缸为双作用气缸。
3.根据权利要求1所述的气缸泄露监控系统，其特征在于：所述气缸的两端连接有第一传感器及第二传感器，用于侦测所述气缸中的活塞是否到位。
4.根据权利要求3所述的气缸泄露监控系统，其特征在于：所述控制单元还连接于所述第一传感器及所述第二传感器的输出端。
5.根据权利要求1所述的气缸泄露监控系统，其特征在于：所述第一通气管路及所述第二通气管路分别连接于所述气缸的两端。
6.根据权利要求1所述的气缸泄露监控系统，其特征在于：所述第一阀门及所述第二阀门为针型阀。
7.根据权利要求1所述的气缸泄露监控系统，其特征在于：所述第三阀门为电磁阀。
8.根据权利要求1所述的气缸泄露监控系统，其特征在于：所述第一压力检测表及所述第二压力检测表上设置有预设的压力值，当检测到的压力值低于预设压力值时，所述第一压力检测表或所述第二压力检测表输出控制信号。
9.根据权利要求1所述的气缸泄露监控系统，其特征在于：所述控制单元还连接于第一报警装置及第二报警装置。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中芯国际集成电路制造（北京）有限公司，未经中芯国际集成电路制造（北京）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201420296424.2/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：集成电路锁散热片可调治具
- 下一篇：一种全自动硅片插片机的硅片传送装置
