[实用新型]一种垂直布局制备金刚石膜的多阵列热丝装置

权利要求书

1.一种垂直布局制备金刚石膜的多阵列热丝装置，包括真空室上壁板(11)和真空室下壁板(12)，其特征在于：上电极板(2)与真空室上壁板(11)固定连接；至少两列热丝(7)竖直分布，每列热丝上端与其对应的上电极板(2)固定连接，每列热丝下端与其对应的下电极板(3)固定连接；下电极板(3)下端固定于热丝调力机构之上，热丝调力机构固定于真空室下壁板(11)之上。

2.根据权利要求1所述的一种垂直布局制备金刚石膜的多阵列热丝装置，其特征在于：所述上电极板(2)通过固定支架(8)与真空室上壁板(11)固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种垂直布局制备金刚石膜的多阵列热丝装置，其特征在于：所述每列的热丝(7)的分布为：

在上电极板与下电极板两端位置上，垂直于上电极板和下电极板，分别平行等距排布4根热丝，在上电极板与下电极板中间位置上平行等距排布10-30根热丝，且两端位置上的热丝之间的距离为中间位置上的热丝之间距离的一半。

4.根据权利要求1所述的一种垂直布局制备金刚石膜的多阵列热丝装置，其特征在于：所述热丝调力机构包括保护钟罩(5)，所属保护钟罩下端固定于真空室下壁板之上，保护钟罩上端设有限位通孔；热丝调力滑板(4)上端固定于下电极板上，其下端依次穿过限位通孔和滚轴(10)。

5.根据权利要求4所述的一种垂直布局制备金刚石膜的多阵列热丝装置，其特征在于：所述热丝调力滑板(4)上端固定于下电极板上，其下端依次穿过限位通孔和滚轴(10)后，再与配重(6)连接。

6.根据权利要求4所述的一种垂直布局制备金刚石膜的多阵列热丝装置，其特征在于：所述热丝调力滑板(4)上端固定于下电极板上，其下端依次穿过限位通孔和滚轴(10)后，再与调力弹簧相连，调力弹簧另一端与真空室下壁板(12)或保护钟罩(5)底壁相连。

7.根据权利要求4、5或6任一所述的一种垂直布局制备金刚石膜的多阵列热丝装置，其特征在于：所述热丝调力滑板(4)为直线型滑板，滚轴(10)固定安装于保护钟罩内部。

8.根据权利要求4、5或6任一所述的一种垂直布局制备金刚石膜的多阵列热丝装置，其特征在于：所述热丝调力滑板(4)为弯折型滑板，滚轴(10)固定安装于支撑柱(9)上，支撑柱固定于真空室下壁板之上。