[实用新型]一种导模法棒状蓝宝石晶体的生长设备有效

专利信息
申请号: 201420284269.2 申请日: 2014-05-30
公开(公告)号: CN203923452U 公开(公告)日: 2014-11-05
发明(设计)人: 薛卫明;马远;邱一豇;牛沈军;吴勇;周健杰 申请(专利权)人: 江苏中电振华晶体技术有限公司
主分类号: C30B15/34 分类号: C30B15/34;C30B29/20
代理公司: 北京一格知识产权代理事务所(普通合伙) 11316 代理人: 滑春生
地址: 226500 江苏省南*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 导模法棒状 蓝宝石 晶体 生长 设备
【说明书】:

技术领域

实用新型涉及一种晶体生长设备,具体说是一种能够实时控制晶体形状和大小的导模法棒状蓝宝石晶体的生长设备。

背景技术

在目前的导模法生长棒状蓝宝石晶体的过程中,晶体的形状通常很难控制,如果热场(Hot Zone)在晶体生长的过程中始终处于稳定的保温和加热过程,则可以生长出形状均匀的晶体;如果由于外界扰动(炉压变化、加热电流波动、气流状态变化等),则晶体的形状也会因扰动发生变化,使晶体的尺寸变大或变小;以生长圆柱形晶体为例,在无晶体生长控制手段的情况下,生长出的目标形状为圆柱形的蓝宝石晶体,在外界扰动下却往往成为了葫芦状的晶体。

在特殊的行业应用中,需要有特殊形式的蓝宝石晶体,比如用于装饰品的蓝宝石晶体,因此,在晶体生长过程中可以实时改变晶体大小的设备成为了一种需求,经检索有关文献,未发现与本实用新型相同的技术方案。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种能够在晶体生长时能够实时控制晶体形状和大小的导模法棒状蓝宝石晶体的生长设备。

为解决上述技术问题,本实用新型的技术方案为:一种导模法棒状蓝宝石晶体的生长设备,其创新点在于:用于晶体生长的热场及抽真空装置,该热场设置有模具、坩埚、加热器;所述模具的中央具有毛细缝,该模具放置在所述坩埚中,该坩埚的下方具有一支撑该坩埚的坩埚架,所述坩埚通过坩埚架放置在所述热场的底部;所述加热器由置于热场外的高频感应线圈及置于热场内坩埚周围的发热管组成,通过高频感应线圈感应加热使发热管发热;所述热场由保温桶、上保温盖及下保温盖组成,所述上保温盖中心设置有籽晶杆;其特征在于:所述保温桶周围还具有若干气体导流通道,所述气体导流通道的出气口正对模具的上端面处,所述气体导流通道的进气口与输气软管相连,该输气软管上配备有流量调节阀。

进一步的,所述气体导流通道以保温桶的中心为圆心呈环状均匀分布在保温桶周围。

进一步的,所述气体导流通道由缓冲流道及出气流道组成,所述缓冲流道从进气口方向至出气口方向口径逐渐减小。

进一步的,所述缓冲流道通过切割加工的方式形成。

进一步的,所述切割加工的方式为钻孔。

本实用新型的优点在于:通过控制导流通道内气体流速可实时改变晶体的大小,使晶体的形状得到控制,从而生长出特定形状的晶体;导流通道出气口正对模具的上端面处使得更多的气体与模具上端面的接触面;气体导流通道以保温桶的中心为圆心呈环状均匀分布在保温桶周围,使得气体均匀地分布在模具上端面;气体导流通道由缓冲流道及出气流道组成,使得气体流速得到缓冲;缓冲流道通过钻孔切割形成,方便制造。

附图说明

图1是本实用新型的一种导模法棒状蓝宝石晶体的生长设备的结构示意图。

图2是本实用新型的一种导模法棒状蓝宝石晶体的生长设备的使用流程图。

具体实施方式

下面结合附图详细说明本实用新型的优选实施例。

实施例一

如图1所示的一种导模法棒状蓝宝石晶体的生长设备:包括用于晶体生长的热场及抽真空装置,该热场设置有模具8、坩埚9、加热器;所述热场由保温桶1、上保温盖4及下保温盖2组成,所述保温桶周围还具有若干气体导流通道10,该气体导流通道10的出气口正对模具8的上端面处,气体导流通道10的进气口与输气软管相连,该输气软管上配备有流量调节阀,所述上保温盖中心设置有籽晶杆12;所述模具8的中央具有毛细缝,该模具8放置在所述坩埚9中,该坩埚9的下方具有一支撑该坩埚的坩埚架6,所述坩埚9通过坩埚架6放置在所述热场的底部;所述加热器由置于热场外的高频感应线圈5及置于热场内坩埚9周围的发热管3组成,通过高频感应线圈5感应加热使发热管3发热。

本实施例中,优选的,所述气体导流通道10以保温桶1的中心为圆心呈环状均匀分布在保温桶1周围,所述气体导流通道1由缓冲流道及出气流道组成,所述缓冲流道从进气口方向至出气口方向口径逐渐减小,所述缓冲流道通过钻孔切割加工形成。

使用时,如图2所示,按照如下步骤进行:

步骤1:在坩埚9中放入纯度大于99.995%的高纯氧化炉原材料,同时将模具8固定在坩埚内;

步骤2:将坩埚9置于热场内的坩埚基座6上;

步骤3:将晶体生长热场抽真空,真空度为103Pa左右;

步骤4:通过高频感应线圈5感应加热,使加热器3加热使热场内的温度升温至2050度左右,高纯度氧化铝原料被熔化;

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