[实用新型]一种导模法棒状蓝宝石晶体的生长设备有效
| 申请号： | 201420284269.2 | 申请日： | 2014-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN203923452U | 公开（公告）日： | 2014-11-05 |
| 发明（设计）人： | 薛卫明;马远;邱一豇;牛沈军;吴勇;周健杰 | 申请（专利权）人： | 江苏中电振华晶体技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/34 | 分类号： | C30B15/34;C30B29/20 |
| 代理公司： | 北京一格知识产权代理事务所(普通合伙) 11316 | 代理人： | 滑春生 |
| 地址： | 226500 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 导模法棒状 蓝宝石 晶体 生长 设备 | ||
【权利要求书】：
1.一种导模法棒状蓝宝石晶体的生长设备，包括：用于晶体生长的热场及抽真空装置，该热场设置有模具、坩埚、加热器；所述模具的中央具有毛细缝，该模具放置在所述坩埚中，该坩埚的下方具有一支撑该坩埚的坩埚架，所述坩埚通过坩埚架放置在所述热场的底部；所述加热器由置于热场外的高频感应线圈及置于热场内坩埚周围的发热管组成，通过高频感应线圈感应加热使发热管发热；所述热场由保温桶、上保温盖及下保温盖组成，所述上保温盖中心设置有籽晶杆；其特征在于：所述保温桶周围还具有若干气体导流通道，所述气体导流通道的出气口正对模具的上端面处，所述气体导流通道的进气口与输气软管相连，该输气软管上配备有流量调节阀。
2.根据权利要求1所述的一种导模法棒状蓝宝石晶体的生长设备，其特征在于：所述气体导流通道以保温桶的中心为圆心呈环状均匀分布在保温桶周围。
3.根据权利要求1所述的一种导模法棒状蓝宝石晶体的生长设备，其特征在于：所述气体导流通道由缓冲流道及出气流道组成，所述缓冲流道从进气口方向至出气口方向口径逐渐减小。
4.根据权利要求1所述的一种导模法棒状蓝宝石晶体的生长设备，其特征在于：所述缓冲流道通过切割加工的方式形成。
5.根据权利要求4所述的一种导模法棒状蓝宝石晶体的生长设备，其特征在于：所述切割加工的方式为钻孔。
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