[实用新型]一种硅片清洗机

说明书

技术领域

本实用新型涉及硅片生产技术领域，特别涉及一种硅片清洗机。

背景技术

硅片在生产过程中表面可能会存在有机物、无机物等污染杂质，故半导体件生产过程中硅片必须经过严格清洗，否则微量污染也会导致器件失效。

其中，硅片清洗机是一种用来清洗硅片表面污渍的自动清洗设备，自动清洗设备的下料台的工作台下设置有传动链条，传动链条用于将盛装硅片的硅片篮移动出工作台。当硅片篮移动出工作台之后，机械手会将另一硅片篮放置于下料台的工作台的下面。为了避免前一硅片篮未移出，机械手就将下一硅片篮放入，目前采用以下方法。

现有技术中，硅片生产厂家使用的清洗机下料台处有一组对射传感器检测是否有硅片篮，当传动链条将放置硅片的不锈钢篮移出传感器对射范围后设备认为无篮，前一槽位置处的硅片篮就可以继续由机械臂提起并放置在下料台处。

然而实际运行中，经常会出现传送过程中篮卡住或传送链条断裂的情况，此时载片盒篮已出传感的检测位置，但又未完全传送出放篮空间，此时设备认为下料台无篮，机械臂会后一硅片篮放置位置吊起载片盒篮继续放置在下料台，造成砸篮事故，硅片大量破损，造成生产损失。

因此，如何提供一种硅片清洗机，该硅片清洗机可以有效防止砸篮现象的发生，是现有技术人员亟待解决的技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的为提供一种硅片清洗机，该硅片清洗机可以有效防止砸篮现象的发生。

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种硅片清洗机，包括下料台，设置于所述下料台的工作台面下的传送链条，所述传送链条用于传送硅片篮，所述下料台对应所述硅片篮工作位置处设置有至少两个检测开关，两检测开关沿所述传送链条的传动方向并行设置；所述硅片清洗机还包括根据各所述检测开关中任一者检测到所述硅片篮的信号，发出停止机械手放下一硅片篮动作的控制器。

优选地，所述检测开关的数量为两个，分别为第一检测开关和第二检测开关，所述第一检测开关靠近所述硅片篮工作位置的中间位置，所述第二检测开关靠近所述硅片篮工作位置的尾端。

优选地，所述第一检测开关和所述第二检测开关均为由两个传感器组成的一组对射传感器，各所述对射传感器中的两个传感器分居于所述工作台的两侧。

优选地，所述控制器为所述硅片清洗机的可编程控制器，所述第一检测开关和所述第二检测开关的信号输出端分别通过信号线连接所述硅片清洗机的可编程控制器接收端口。

优选地，还包括检测开关安装座，用于将各监测开关固定于所述下料台，所述检测开关安装座包括围成一腔体的顶壁、底壁以及两侧壁，所述检测开关设于所述腔体内。

优选地，两所述侧壁均具有向外的折弯部，所述折弯部低于所述底壁的高度；所述折弯部固定连接所述下料台。

优选地，所述折弯部上设置有螺栓孔，所述折弯部通过穿过所述螺栓孔的螺栓固定连接所述下料台。

当各检测开关均将各检测信号发送给控制器，控制器对各信号进行分析、判断，当判断各检测信号中的任一者检测到硅片篮时，便发送停止机械手放下一硅片篮的控制指令于机械手，机械手便会停止向下料台处放硅片篮，避免了砸篮现象的发生。当然，当控制器判断各检测信号均未检测到硅片篮时，便发送机械手放下一硅片篮的控制指令于机械手，机械手继续放置硅片篮于下料台下放的相应位置。

这样，根据机械手的工作状态，操作人员也可以了解处于下料台处的硅片篮是否出现问题。

附图说明

图1为本实用新型一种实施例中硅片清洗机的结构示意图；

图2为本实用新型一种实施例中检测开关安装座的结构示意图。

其中，图1-2中附图标记和部件名称之间的一一对应关系如下所示：

1下料台、2检测开关、3传送链条、4硅片篮、5螺钉、6检测开关安装座、61顶壁、62底壁、63侧壁、631折弯部、631a螺栓孔。

具体实施方式

本实用新型的核心为提供一种硅片清洗机，该硅片清洗机可以有效防止砸篮现象的发生。

为了使本领域的技术人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步的详细说明。

请参考图1，图1为本实用新型一种实施例中硅片清洗机的结构示意图。

本实用新型提供了一种硅片清洗机，包括下料台1，设置于下料台1的工作台面下的传送链条3，传送链条3用于传送硅片篮4，本实用新型中的硅片清洗机中的下料台1对应硅片篮4工作位置处设置有至少两个检测开关2，两检测开关2沿传送链条3的传动方向并行设置。