[实用新型]一种硅片清洗机

权利要求书

1.一种硅片清洗机，包括下料台(1)，设置于所述下料台(1)的工作台面下的传送链条(3)，所述传送链条(3)用于传送硅片篮(4)，其特征在于，所述下料台(1)对应所述硅片篮(4)工作位置处设置有至少两个检测开关(2)，两检测开关(2)沿所述传送链条(3)的传动方向并行设置；所述硅片清洗机还包括根据各所述检测开关(2)中任一者检测到所述硅片篮(4)的信号，发出停止机械手放下一硅片篮(4)动作的控制器。

2.如权利要求1所述的硅片清洗机，其特征在于，所述检测开关(2)的数量为两个，分别为第一检测开关(2)和第二检测开关(2)，所述第一检测开关(2)靠近所述硅片篮(4)工作位置的中间位置，所述第二检测开关(2)靠近所述硅片篮(4)工作位置的尾端。

3.如权利要求2所述的硅片清洗机，其特征在于，所述第一检测开关(2)和所述第二检测开关(2)均为由两个传感器组成的一组对射传感器，各所述对射传感器中的两个传感器分居于所述工作台的两侧。

4.如权利要求2所述的硅片清洗机，其特征在于，所述控制器为所述硅片清洗机的可编程控制器，所述第一检测开关(2)和所述第二检测开关(2)的信号输出端分别通过信号线连接所述硅片清洗机的可编程控制器接收端口。

5.如权利要求1至4任一项所述的硅片清洗机，其特征在于，还包括检测开关安装座(6)，用于将各监测开关固定于所述下料台(1)，所述检测开关安装座(6)包括围成一腔体的顶壁(61)、底壁(62)以及两侧壁(63)，所述检测开关(2)设于所述腔体内。

6.如权利要求5所述的硅片清洗机，其特征在于，两所述侧壁(63)均具有向外的折弯部(631)，所述折弯部(631)低于所述底壁(62)的高度；所述折弯部(631)固定连接所述下料台(1)。

7.如权利要求6所述的硅片清洗机，其特征在于，所述折弯部(631)上设置有螺栓孔(631a)，所述折弯部通过穿过所述螺栓孔(631a)的螺栓固定连接所述下料台(1)。