[实用新型]晶圆清洗刷和晶圆清洗装置

权利要求书

1.一种晶圆清洗刷，其特征在于，包括：刷桶、设置于刷桶的圆周表面的刷毛、贯穿所述刷桶的刷轴及与所述刷轴连接的第一马达；所述第一马达驱动所述刷桶沿晶圆的第一表面的第一方向移动的同时沿第一方向作左右摆动。

2.如权利要求1所述的晶圆清洗刷，其特征在于，所述刷轴包括第一刷轴及与所述第一刷轴连接的第二刷轴；所述第一刷轴贯穿所述刷桶；所述第二刷轴与所述第一马达连接。

3.如权利要求1所述的晶圆清洗刷，其特征在于，所述刷毛为圆柱形刷毛，所述圆柱形刷毛交错横向排列。

4.如权利要求3所述的晶圆清洗刷，其特征在于，所述刷毛采用柔性材料。

5.如权利要求3所述的晶圆清洗刷，其特征在于，所述刷毛采用聚乙烯醇。

6.一种晶圆清洗装置，其特征在于，包括：如权利要求1所述的晶圆清洗刷、晶圆吸附装置、第一喷水管及滚轮；其中，所述晶圆清洗刷及所述晶圆吸附装置分别设置于晶圆的两侧；所述第一喷水管设置于晶圆正上方；所述滚轮设置于晶圆的边缘。

7.如权利要求6所述的晶圆清洗装置，其特征在于，所述晶圆吸附装置包括：吸附盘、吸附片、固定盘、第二马达及驱动杆；其中，所述吸附片黏贴在固定盘表面；所述驱动杆贯穿所述固定盘及所述固定盘表面的所述吸附片与所述吸附盘连接，所述第二马达驱动所述吸附盘沿所述驱动杆运动。

8.如权利要求6所述的晶圆清洗装置，其特征在于，所述第一喷水管上设置有若干晶圆清洗喷嘴。

9.如权利要求6所述的晶圆清洗装置，其特征在于，所述第一喷水管为叉形管。

10.如权利要求6所述的晶圆清洗装置，其特征在于，还包括第三马达；所述第三马达与所述第一喷水管连接。

11.如权利要求10所述的晶圆清洗装置，其特征在于，所述第三马达控制所述第一喷水管在所述晶圆正上方作旋转运动。

12.如权利要求6所述的晶圆清洗装置，其特征在于，所述刷轴包括第一刷轴及与所述第一刷轴连接的第二刷轴；所述第一刷轴贯穿所述刷桶；所述第二刷轴与所述第一马达连接。

13.如权利要求6所述的晶圆清洗装置，其特征在于，所述刷毛为圆柱形刷毛，所述圆柱形刷毛交错横向排列。

14.如权利要求6所述的晶圆清洗装置，其特征在于，所述刷毛采用柔性材料。

15.如权利要求6所述的晶圆清洗装置，其特征在于，所述刷毛采用聚乙烯醇。