[实用新型]一种熔丝测试结构及硅片

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体器件制造领域，特别是涉及一种熔丝测试结构及硅片。

背景技术

在集成电路制造工艺中通常用到Fuse(熔丝)结构来调节产品振荡器的频率、输出电压等。Fuse本质上就是一个电阻，其材料通常是易于熔融的导电金属(Metal Fuse：金属熔丝)或多晶硅(Poly Fuse：多晶硅熔丝)。通过施加高压、大电流或激光等方式可以使Fuse烧断，改变电路结构中的电阻值，进而起到调节某项电路参数(电压、频率等)作用。

正常情况下，针对产品各关键参数都会设计相应的测试模块儿用于监控在线工艺参数的波动情况。但Fuse主要是客户端用来调节频率或电压等参数的，它有别于其它工艺参数，通常Wafer(硅片)产品上都没有设计专门的监控fuse的测试模块儿，并且Fuse结构使用较广泛，经常会碰到一些Fuse烧不断或烧不不干净之类的问题。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种熔丝测试结构及硅片，解决现有技术中无法在线监控产品上熔丝相关性能的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型的实施例提供一种熔丝测试结构，包括：用于测试熔丝电阻的测试结构和熔丝，所述测试结构与所述熔丝通过金属线相连；其中，所述测试结构由第一预设数量的测试端口和金属线连接而成。

上述的熔丝测试结构，其中，所述第一预设数量为8。

上述的熔丝测试结构，其中，所述测试端口包括：第一、二、三、四、五、六、七、八测试端口，所述第八测试端口作为公共端口，其余七个所述测试端口分别通过一个所述熔丝与所述第八测试端口相连。

上述的熔丝测试结构，其中，所述熔丝包括第二预设数量的第一熔丝和第三预设数量的第二熔丝；其中，所述第一熔丝包括：折线型熔丝和弓型熔丝，所述第二熔丝包括直线型熔丝。

上述的熔丝测试结构，其中，所述熔丝为金属熔丝，所述金属熔丝与所述金属线直接相连。

上述的熔丝测试结构，其中，所述熔丝为多晶硅熔丝，所述多晶硅熔丝与所述金属线通过所述多晶硅熔丝的末端的通孔相连。

本实用新型还提供一种硅片，包括划片道区域，其中，所述划片道区域中含有上述的熔丝测试结构。

本实用新型的上述技术方案的有益效果如下：

上述方案中，所述熔丝测试结构能够轻易测出产品上熔丝的电阻，还可以模拟客户端熔丝烧熔的情况，进而实现在线监控产品上熔丝的相关性能的目的。

附图说明

图1为本实用新型实施例的熔丝测试结构布线示意图；

图2为本实用新型实施例的熔丝测试结构另一布线示意图；

图3为本实用新型实施例的折线型熔丝结构示意图；

图4为本实用新型实施例的弓型熔丝结构示意图；

图5为本实用新型实施例的直线型熔丝结构示意图；

图6为本实用新型实施例的多晶硅直线型熔丝结构示意图；

图7为本实用新型实施例的熔丝区域完整剖面结构示意图；

图8为本实用新型实施例的多晶硅熔丝开窗区域剖面结构示意图；

图9为本实用新型实施例的金属熔丝开窗区域剖面结构示意图；

图10为本实用新型实施例的测试原理示意图。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图及具体实施例对本实用新型进行详细描述。

本实用新型针对现有的技术中无法在线监控产品上熔丝相关性能的问题，提供一种熔丝测试结构，如图1所示，包括：用于测试熔丝电阻的测试结构和熔丝，所述测试结构与所述熔丝通过金属线相连；其中，所述测试结构由第一预设数量的测试端口和金属线连接而成。

根据厂家实际生产应用情况，如图1所示，本实用新型实施例提供的所述熔丝测试结构中所述第一预设数量为8；其中，所述测试端口包括：第一、二、三、四、五、六、七、八测试端口，所述第八测试端口作为公共端口，其余七个所述测试端口分别通过一个所述熔丝与所述第八测试端口相连。测试结构中测试端口的尺寸具体可根据测试针卡大小和划片道尺寸来选择(一般在几十微米左右)，测试端口的数量可根据实际需要而选择，金属走线宽度常见约2～5um。测试结构的布线方式可以有多种设计，具体根据测试需要而确定。