[实用新型]一种真空计的保护装置有效
| 申请号： | 201420198820.1 | 申请日： | 2014-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN203929317U | 公开（公告）日： | 2014-11-05 |
| 发明（设计）人： | 丁杰;严骏;裴雷洪 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01L21/00 | 分类号： | G01L21/00 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 吴俊 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 真空计 保护装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种真空计的保护装置，所述真空计通过管道与一离子源腔体连接，一充气管道连接所述离子源腔体，所述充气管道上设置一充气阀，其特征在于，包括：气动阀，所述气动阀设置于所述真空计与所述离子源腔体之间的管道上，所述气动阀与所述充气阀为互锁连接。
2.如权利要求1所述真空计的保护装置，其特征在于，所述气动阀为单向阀门。
3.如权利要求1所述真空计的保护装置，其特征在于，所述管道与所述离子源腔体之间密封连接。
4.如权利要求1所述真空计的保护装置，其特征在于，所述充气管道与所述离子源腔体之间密封连接。
5.如权利要求1所述的真空计的保护装置，其特征在于，所述充气管道与所述离子源腔体的底部连接。
6.如权利要求1所述的真空计的保护装置，其特征在于，所述管道与所述离子源腔体的侧壁连接。
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